用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法

    公开(公告)号:CN101290218B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200810061678.5

    申请日:2008-05-23

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤:1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说,本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正,是一种可以实现高精度的补偿方法。

    大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法及装置

    公开(公告)号:CN101644657A

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200910102400.2

    申请日:2009-09-03

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 杨甬英 高鑫 刘东

    Abstract: 本发明公开了一种大口径精密光学元件表面缺陷检测的照明方法及装置。由于疵病方向的任意性,装置中须设置足够数量的照明光源,使元件表面任意方向疵病都能得到良好的照明。本发明通过采用旋转光源,解决了足够数量大口径照明光源和较小装置质量难以共存的难题。本发明技术特点在于:采集某视场内疵病图像时,将固定有少量照明光源筒的光源支架进行多次旋转,分别采集光源支架处于不同位置的疵病图像,这些图像叠加后的图像将包含此视场内全部疵病,相当于使用了更多数量的照明光源筒,装置质量小;设计了与旋转照明方式相对应的图像叠加算法;设计了可实现旋转光源的紧凑的机械结构。本发明为精密光学元件表面缺陷检测提供了一种实用的照明方法。

    表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法

    公开(公告)号:CN100557427C

    公开(公告)日:2009-11-04

    申请号:CN200710070044.1

    申请日:2007-07-17

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时,需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差——CCD坐标与扫描轨迹坐标间的夹角α,提出根据被测大口径元件尺寸、物方视场大小及所需拼接的N×N的子孔径数,从而确定相应的最大角度容差αmax。本发明设计了特定的角度调整机构,可以实现CCD坐标系与扫描轨迹坐标系一致性的调整。本发明提出了利用具有标准刻线的标准板、XY扫描系统及专门的图像处理软件组合可以实现按照特定的调整方法使两个坐标系的夹角α小于αmax,从而保证全孔径的正确拼接,达到表面疵病等级和位置的正确评定。

    用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法

    公开(公告)号:CN101290218A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200810061678.5

    申请日:2008-05-23

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤:1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说,本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正,是一种可以实现高精度的补偿方法。

    激光双焦干涉球面轮廓仪
    105.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1060268C

    公开(公告)日:2001-01-03

    申请号:CN98110634.X

    申请日:1998-01-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,其特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辨率为0.1nm,横向分辨率为1μm。

    激光扫描力显微镜
    106.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1222672A

    公开(公告)日:1999-07-14

    申请号:CN98122886.0

    申请日:1998-12-27

    Abstract: 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。

    近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统

    公开(公告)号:CN2773642Y

    公开(公告)日:2006-04-19

    申请号:CN200520100549.4

    申请日:2005-02-06

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中,利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差,通过实施测量例中严格的数据处理,可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值,完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本实用新型可以对10-150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定,该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定,为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。

    基于日盲区紫外成像的无人机自主着陆引导系统

    公开(公告)号:CN205302011U

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201521003622.6

    申请日:2015-12-07

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于日盲区紫外成像的无人机自主着陆引导系统。本实用新型包括紫外光源信标模块、双通道成像模块、数据处理模块、数据发送模块、数据存储模块;紫外光源信标模块设置在着陆平台上,双通道成像模块、数据处理模块、数据发送模块、数据存储模块设置在无人机上,无人机通过双通道成像模块对紫外光源信标模块进行成像,然后通过数据处理模块对成像数据进行处理,数据发送模块将部分数据处理模块结果传送给无人机飞控系统,将剩余处理结果传送给数据存储模块进行存储。本实用新型首次将日盲区紫外成像技术用于无人机自主着陆引导,实现了基于日盲区紫外成像的无人机自主着陆引导。

    大口径球面光学元件表面疵病检测系统

    公开(公告)号:CN204128987U

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201420538551.9

    申请日:2014-09-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种大口径球面光学元件表面疵病检测系统。本实用新型包括XY二维导轨、二维旋转系统、大口径球面光学元件、环形照明光源、Z向导轨、显微镜、CCD1、光学自准直定中仪、CCD2;大口径球面光学元件固定于二维旋转系统上,二维旋转系统安装于XY二维导轨上,实现大口径球面光学元件的多轴联动;CCD1连接到显微镜上并固定于环形照明光源上,环形照明光源及光学自准直定中仪固定于Z向导轨上,并随Z向导轨沿Z轴方向平动,CCD2连接到光学自准直定中仪上。本实用新型实现了大口径球面元件表面疵病的子孔径采样过程,对全口径疵病灰度图像进行数字化特征提取后,从而实现疵病的自动化定量检测。

    一种基于望远镜阵列的大气遥感激光雷达光学接收装置

    公开(公告)号:CN204649962U

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201520327705.4

    申请日:2015-05-19

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: Y02A90/19

    Abstract: 本实用新型公开一种基于望远镜阵列的大气遥感激光雷达光学接收装置。本实用新型解决了激光雷达中因单个望远镜接收面积小导致回波信号弱,进而限制有效探测距离的难题。本实用新型以多个望远镜组合代替传统激光雷达中单个望远镜,利用对称布置的接收光路,经过特殊设计的反射棱镜,保证不同望远镜接收到的、发生在同一区域的后向散射回波信号被光电探测器同步记录,使得望远镜阵列等价于单个更大口径的望远镜,从而凭借更大的接收面积增加系统的回波信号强度和有效探测范围。相比较于增加单个望远镜口径的方式,望远镜阵列法可以大大降低成本。该方法适用于所有利用望远镜作为接收器件的激光雷达系统,为激光雷达技术的普及和发展提供新的方向。

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