高通量大口径透镜的高精度四维在线调焦装置

    公开(公告)号:CN103235392B

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201310155857.6

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置,它涉及一种透镜在线调焦装置。该它解决缺少专门的透镜调整机构进行三维精密调节的问题,提供了一种高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置的问题。透镜框内装有透镜,透镜框设在透镜框滑道内,透镜框滑道与升降框连接,升降框在第一导轨和第二导轨内沿竖直方向滑动,水平框沿横向在第三导轨和第四导轨内滑动。本发明用于透镜在线调焦。

    用于气体静压主轴动力学预测的仿真方法

    公开(公告)号:CN102880765B

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201210397338.6

    申请日:2012-10-18

    Abstract: 用于气体静压主轴动力学预测的仿真方法,涉及一种用于气体静压主轴动力学预测的仿真方法,解决了现有技术中传统的仿真方法建模困难、精度低而引起的在设计阶段对主轴的动态特性预测困难的问题。所需步骤:利用有限元方法和气体静压原理,通过对气体静压主轴轴承气膜划分有限元网格,计算得到气体静压主轴的压力分布数据We;建立与有限元网格相对应的主轴轴体的有限元模型;将有限元主轴的压力分布数据We转化为等效弹簧刚度值,并将等效弹簧刚度值赋值到与气膜有限元网格相对应的节点上;建立气体静压主轴的有限元模型,根据所建立的有限元模型,计算气体静压主轴的动力学特性。主要用于对气体静压主轴的动态特性预测。

    一种大径高比超精密液体静压转台

    公开(公告)号:CN103111855B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201310052562.6

    申请日:2013-02-18

    CPC classification number: F16C32/0696 F16C2300/14 F16C2322/39

    Abstract: 一种大径高比超精密液体静压转台,属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上,上浮止推板与转台底座固接,下浮止推板通过内隔环与转台底座固接,下浮止推板置于上浮板的环形槽内,径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接,主轴与上浮板固接,液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜,在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜,在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜,从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。

    一种大直径超精密气体静压回转轴系

    公开(公告)号:CN103056397B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210589483.4

    申请日:2012-12-31

    Abstract: 一种大直径超精密气体静压回转轴系,属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上,上浮板与下浮板固接,下浮止推板与固定支承座固接,上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接,上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内,径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接,主轴与下浮板固接,压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜,在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜,在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜,从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。

    一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置

    公开(公告)号:CN103197397B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201310126855.4

    申请日:2013-04-13

    Abstract: 本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置,属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上,偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内组件的偏摆托框相固接,俯仰面内组件位于平动驱动组件之上,外框组件与平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三和平动导轨连接板四固接,平动驱动弯板与外框组件固接。本发明采用了三层结构实现了光栅整体的四个自由度的复合调整,解决了光栅调整架高度受限的问题。采用柔性驱动方式,各个自由度有较大的运动范围,具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点。

    一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台

    公开(公告)号:CN103955043A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410205791.1

    申请日:2014-05-15

    Abstract: 一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台,属于高精度调整装置技术领域。为解决现有大尺寸光栅安装测试平台受中心高限制无法实现五维调整,以及现有四维调整装置整体刚度低、稳定性差问题。两个x轴光电接近开关通过两个x轴光电接近开关座与平动底座固接,十字交叉导轨组件的两根长导轨固定于平动底座上,内侧滑座组件固定于十字交叉导轨组件的四个十字滑块之间,x轴平动驱动组件的x轴滚珠丝杠螺母固定在内侧滑座组件的滑座基体内,y轴平动驱动组件与绕x、y、z轴旋转组件及内侧滑座组件固接,绕x、y、z轴旋转组件与十字交叉导轨组件的两根短导轨固接,光栅安装组件与绕x、y、z轴旋转组件固接。本发明用于大尺寸光栅安装测试。

    双刀盘卧式超精密液体静压电主轴系统

    公开(公告)号:CN102241084B

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201110108993.0

    申请日:2011-04-28

    Abstract: 双刀盘卧式超精密液体静压电主轴系统,它涉及一种液体静压电主轴系统。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。第一轴系支架位于壳体内腔的一端,第一轴系支架通过第一固定挡板与壳体固接,第二轴系支架位于壳体内腔的另一端,直流双输出轴电机的第一输出轴通过第一止推板与第一主轴的一端固接,第一主轴的另一端与第一刀盘固接,第一轴套套装在第一主轴上,第一轴套固装在第一轴系支架上;直流双输出轴电机的第二输出轴通过第二止推板与第二主轴的一端固接,第二主轴的另一端与第二刀盘固接,第二轴套套装在第二主轴上,第二轴套固装在第二轴系支架上。本发明的主轴系统用于加工KDP晶体光学零件。

    3-DOF可快速定位的串并混联镜架机构

    公开(公告)号:CN103018866A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210519869.8

    申请日:2012-12-06

    Abstract: 3-DOF可快速定位的串并混联镜架机构,它涉及一种串并混联镜架机构。本发明为了解决现有的镜架机构串联机构无法完成大行程、高精度的问题。本发明的串并混联镜架机构包括三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)、一条PPS运动链(5)、一个动平台(6)和一个静平台(7),以动平台(6)的几何中心为坐标系的原点,建立笛卡尔坐标系,所述三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)和一条PPS运动链(5)相对于动平台(6)以三面正交支撑的形式连接,三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)完成动平台(6)的多自由度运动,PPS运动链(5)完全支撑动平台(6)的重量。本发明适用于镜架机构中。

    五轴联动超精密机床
    109.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102909610A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210429045.1

    申请日:2012-11-01

    Abstract: 五轴联动超精密机床,它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一;加工对象形状简单,难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨,X轴导轨上滑动连接有X轴溜板,Z轴导轨上连接有Z轴溜板;X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱,立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板,Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板;Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴,C轴上安装有真空吸盘,Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴;X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑,B轴和C轴采用气体静压支撑,B轴上安装夹具装置及刀具;C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。

    一种超精密机床的垂直运动轴系

    公开(公告)号:CN102909596A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210429004.2

    申请日:2012-11-01

    Abstract: 一种超精密机床的垂直运动轴系,它涉及一种机床的垂直运动轴系。本发明为了解决传统垂直运动轴系难以适用于面向复杂微细结构加工的超精密机床的问题。两个立柱并列设置在X轴溜板上,垂直运动轴中溜板滑动连接在两个立柱之间,垂直运动轴中溜板的前侧安装有垂直运动轴前溜板,后侧安装有垂直运动轴后溜板,气体静压主轴和主轴电机座装在贯穿圆孔内,气体静压主轴的后端与主轴电机座内的主轴电机连接,横梁安装在两个立柱的上端面上,丝杠轴承座装在中心孔上,丝杠轴承座上装有力矩电机,滚珠丝杠的下端与置于横梁下方的丝杠螺母座相连接,滚珠丝杠的上端与力矩电机连接,垂直运动轴中溜板与X轴溜板之间连接有卸荷气缸。本发明用于超精密机床中。

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