一种氮化硅波导布拉格光栅折射率传感芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN104865223A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510280048.7

    申请日:2015-05-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种氮化硅波导布拉格光栅折射率传感芯片。包括基底、下包层、上包层、芯层;下包层在基底的上表面;芯层在下包层的上表面;芯层上表面以及芯层周侧的下包层上表面均与上包层的下表面贴合;波导芯层中心区域的宽度呈周期性变化构成波导布拉格光栅;挖空覆盖于波导布拉格光栅的上包层形成凹槽;凹槽中的待测液体与芯层接触;通过检测波导布拉格光栅中心波长的偏移量实现折射率传感。本发明还提供了该芯片的制备方法:在基底上制作二氧化硅下包层,在下包层上制作氮化硅芯层,在芯层上制作矩形波导和波导布拉格光栅结构,然后制作二氧化硅上包层,最后挖空上包层中心区域形成凹槽。该传感器芯片在生化传感领域有广泛的应用前景。

    双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器

    公开(公告)号:CN102914881B

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201110418738.6

    申请日:2011-12-14

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器,包括恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极,所述恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极从下往上依次叠合在一起;所述下电极和上电极均设有电极引线,并通过该电极引线与电流源连接组成升温装置;所述波导双面光栅包括下光栅、直波导和上光栅,并由所述下光栅、直波导和上光栅从下至上依次叠合构成。本发明在波导双面光栅两侧均刻有光栅结构,从而使周期波导有效折射率的差值会随之增大,反射率也会增大;同时调谐速率更快,反射谱参数更稳定,实现很好的反射、调谐效果,可有效减小光栅的长度,做到利于器件集成的效果。

    一种基于马赫-曾德结构的氮化硅波导热光开关阵列芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN104849878A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510298938.0

    申请日:2015-06-03

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G02F1/0147 G02F2201/06 G02F2202/10

    Abstract: 本发明公开了一种基于马赫-曾德结构的氮化硅波导热光开关阵列芯片及其制作方法,该波导热光开关阵列芯片由多个级联的1×2马赫-曾德型氮化硅波导热光开关单元构成,其中每个1×2马赫-曾德型氮化硅波导热光开关单元包括一根输入光波导、一个1×2分支光波导、一根参考臂光波导、一根干涉臂光波导、一个3dB定向耦合器、两根输出光波导。该氮化硅波导热光开关阵列芯片器件尺寸小、损耗低、加工工艺简单、与半导体CMOS工艺兼容、成本低廉、易于集成,在光通信与片上光互连领域有广泛的应用前景。

    光纤布拉格光栅温度传感器复合结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN1584525A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200410041288.3

    申请日:2004-06-16

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 崔一平 恽斌峰

    Abstract: 本发明公开了一种光纤布拉格光栅温度传感器复合结构,由金属套管、光纤包层和有布拉格光栅的光纤芯组成,光纤包层和套管之间用环氧树脂连接,包含布拉格光栅的部分光纤包层的横截面积缩小为原来的μ倍,0<μ<1。本发明还公开了一种光纤布拉格光栅温度传感器复合结构的制造方法,首先将要封装的在二氯甲烷中浸泡,除去光纤的涂敷层,再将部分光纤包层放入氢氟酸中腐蚀,使部分光纤的横截面减少到原来的μ倍,第三步,把腐蚀后的光纤放入金属套管中,在要封装的光纤上施加一个轴向拉伸应变,用环氧树脂将未减少截面积的部分光纤包层和金属套管粘接。本发明当μ≈0.6的时候,其等效温度灵敏度是普通光纤光栅的5.53倍,单独金属铝封装的1.72倍。

    准分布式动静态传感的光纤布拉格光栅传感复用装置

    公开(公告)号:CN2765146Y

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN200520068502.4

    申请日:2005-01-24

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种准分布式动静态传感的光纤布拉格光栅传感复用装置,由激光谐振腔、第二耦合器和光纤光栅组成,第二耦合器一个输出端与光纤光栅连接,激光谐振腔为环形激光谐振腔,该环形激光谐振腔由掺铒光纤放大器、第一耦合器和光纤法布里-珀罗可调滤波器组成,本实用新型具有在一个系统里具有准分布式静态传感和局部动态传感两种功能,解调系统的应用灵活性大大提高了,可以减小探测峰值附近的噪声干扰,使得复用模式下的解调精度显著提高,提高信噪比,增加复用光栅数量,并进一步提高解调精度,易于设计,成本低的优点。

    双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器

    公开(公告)号:CN202394002U

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201120525151.0

    申请日:2011-12-14

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器,包括恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极,所述恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极从下往上依次叠合在一起;所述下电极和上电极均设有电极引线,并通过该电极引线与电流源连接组成升温装置;所述波导双面光栅包括下光栅、直波导和上光栅,并由所述下光栅、直波导和上光栅从下至上依次叠合构成。本实用新型在波导双面光栅两侧均刻有光栅结构,从而使周期波导有效折射率的差值会随之增大,反射率也会增大;同时调谐速率更快,反射谱参数更稳定,实现很好的反射、调谐效果,可有效减小光栅的长度,做到利于器件集成的效果。

    高灵敏度光纤布拉格光栅传感器

    公开(公告)号:CN2618176Y

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN03222405.2

    申请日:2003-06-02

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 高灵敏度光纤布拉格光栅传感器是一种高灵敏度光纤布拉格光栅法布理—珀罗(F-P)腔传感器,该传感器由光纤布拉格光栅F-P腔1、单向隔器3、耦合器4、光纤布鞋拉格光栅2顺序相串联所组成,其中光纤布拉格光栅F-P腔由两个光纤布拉格光栅对1.1、1.2相串联组成,该传感器输入端5接光纤布拉格光栅F-P腔,传感器输出端6与单向隔器接在耦合器的同一端上。光纤布拉格光栅F-P腔采用两只相同的光纤布拉格光栅串联组成,其反射率大于95%。光纤布拉格光栅的带宽小于或等于光纤布拉格光栅F-P腔中的光纤布拉格光栅对的带宽。该传感器光谱响应带宽比光纤Bragg光栅的反射峰带宽小两个量级,其波长灵敏度可以达到10-2pm量级。

    一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器

    公开(公告)号:CN202614981U

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201220252086.3

    申请日:2012-05-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器,包括基底、下包层、上包层、直波导和由光栅线组成的下光栅,下包层固定连接在基底的上表面,下光栅固定连接在直波导的表面,直波导的底面和下包层的顶面连接,直波导的顶面和上包层的底面连接,所述的下光栅中的光栅线呈条状,且光栅线之间相互平行,下光栅沿直波导的竖向中分线相互对称;下光栅的宽度从两端向中间按照钟形包络函数逐渐增加,且位于下光栅端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度,位于下光栅中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度;所述的直波导的宽度恒定。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。

    光纤布拉格光栅温度传感器复合结构

    公开(公告)号:CN2700856Y

    公开(公告)日:2005-05-18

    申请号:CN200420028001.9

    申请日:2004-06-16

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 崔一平 恽斌峰

    Abstract: 本实用新型公开了一种光纤布拉格光栅温度传感器复合结构,由套管、光纤包层和有布拉格光栅的光纤芯组成,有布拉格光栅的光纤芯位于光纤包层中,光纤包层位于套管内,套管、光纤包层及光纤芯长度均为10~30mm,光纤包层和套管之间用环氧树脂连接,包含布拉格光栅的部分光纤包层的横截面积缩小为原来的μ倍,0<μ<1,包含布拉格光栅的部分光纤包层的长度为2~10mm,套管的内径为1~5mm,外径为1.5~10.5mm,金属套管与未减少截面的部分光纤包层之间用环氧树脂粘接。本实用新型当μ≈0.6的时候,其等效温度灵敏度是普通光纤光栅的5.53倍,单独金属铝封装的1.72倍。

    基于双程双向结构的分立式拉曼光纤放大器

    公开(公告)号:CN2638100Y

    公开(公告)日:2004-09-01

    申请号:CN03277433.8

    申请日:2003-08-07

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 基于双程双向结构的分立式拉曼光纤放大器涉及光放大器,尤其是分立式拉曼光纤放大器,该放大器由泵浦单元1、光环形器2、光耦合器3、增益光纤4、光隔离器5所组成,其中光环形器有三个端口,分别为信号输入端、信号输出端,还有一个端口接光耦合器;泵浦单元的输出端接光隔离器,光隔离器的输出端接光耦合器;光耦合器也有三个端口,一个端口接光环形器,一个端口接光隔离器,另一个端口接增益光纤。增益光纤由一个正色散光纤4.1和一个负色散光纤4.2串联熔接而成,正色散光纤的非熔接端接光耦合器,负色散光纤的非熔接端镀有金属膜4.3。利用该双程双向结构,可大大提高总增益,提高泵浦光利用效率,降低成本。

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