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公开(公告)号：CN100516530C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710012104.4
申请日：2007-07-13
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
CPC classification number: F05C2201/0442
Abstract: 一种设有耐磨层的制冷压缩机零件及其耐磨层的制备方法，该零件包括叶片、滚套和曲轴，零件金属基体依次涂有过渡层和耐磨层，过渡层和耐磨层至少涂在一个滑动表面上，过渡层是纯钛或纯铬层，表面耐磨层为氮化钛或氮化铬薄膜。制备耐磨层采用真空电弧离子镀方法，在阴极弧源靶与工件之间设置有由“Z”形金属折板依次排列而构成的过滤栅，该过滤栅的结构特点是由多个金属折板并列设置而成，该板折有上平面、斜面和下平面，似“Z”形，决定相邻两个金属折板之间最大距离的条件是上金属折板上平面起点与下部相邻金属折板下平面终点之间的连线与上金属折板下平面折点和下部相邻金属折板上平面折点相交。本发明具有耐磨性、耐剥离性和使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN101457758A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200810228430.3
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
IPC: F04D19/04
Abstract: 本发明涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。
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公开(公告)号：CN101170865A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710158581.1
申请日：2007-11-28
Applicant: 东北大学
IPC: H05H1/00 , G01R1/067 , G01R31/00 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于测量等离子体悬浮电位的参考探针，由电极(1)、低通滤波器(2)、高阻(3)、I－V变换器(4)、数据采集卡(5)、工业控制计算机(6)组成。电极(1)插入等离子体内，另一端接低通滤波器(2)；低通滤波器(2)与高阻(3)连接，高阻(3)另一端连接I－V变换器(4)；I－V变换器将收集信号转换成电压信号并输出；数据采集卡(5)接收I－V变换器(4)的输出信号并将其传给工业控制计算机(6)，工业控制计算机(6)对信号进行处理并显示。探针在等离子体中处于悬浮状态，高阻两端的电位差即为等离子体悬浮电位，采用这种结构可以对各种低温等离子体中悬浮电位实时测量。
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公开(公告)号：CN100370281C
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200610045736.6
申请日：2006-01-24
Applicant: 东北大学
IPC: G02B1/10 , C23C16/513 , C23C16/52 , C23C16/26
Abstract: 一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法，采用等离子体化学气相沉积方法在树脂镜片上沉积碳膜，利用高频电场所提供的高能量等离子体与通入的烃类气体产生裂解及淀积反应，在镜片表面形成碳膜，工艺过程为：用超声波清洗机对树脂基片进行清洗；再进行等离子清洗工艺，以Ar离子对基片清洗5min；通烃类碳源气体和氢气，进行碳膜的沉积，射频能量取值15～400W；烃类碳源气体、H2气体浓度比为1∶(0～3)，沉积时真空度10～50Pa ；沉积时间为10s～30min。所制备的碳膜均匀、致密，没有大颗粒的附着，没有开裂的现象，膜基结合良好，镜片表面硬度及抗划擦性能显著增强。
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公开(公告)号：CN101092959A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710012104.4
申请日：2007-07-13
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
CPC classification number: F05C2201/0442
Abstract: 一种设有耐磨层的制冷压缩机零件及其耐磨层的制备方法，该零件包括叶片、滚套和曲轴，零件金属基体依次涂有过渡层和耐磨层，过渡层和耐磨层至少涂在一个滑动表面上，过渡层是纯钛或纯铬层，表面耐磨层为氮化钛或氮化铬薄膜。制备耐磨层采用真空电弧离子镀方法，在阴极弧源靶与工件之间设置有由“Z”形金属折板依次排列而构成的过滤栅，该过滤栅的结构特点是由多个金属折板并列设置而成，该折板有上平面、斜面和下平面，似“Z”形，相邻两个金属折板之间的最大距离是一个金属折板上平面起点与下部相邻金属折板下平面终点之间的连线与两板的折点相切。本发明具有耐磨性、耐剥离性和使用寿命长的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101003896A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710010132.2
申请日：2007-01-23
Applicant: 锦州市三特真空冶金技术工业有限公司 , 东北大学
IPC: C23C16/52
Abstract: 一种真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置属于自动控制领域。本发明装置包括上位机、协议转换器、温度控制器、DA转换模块、真空计、质量流量控制器和可编程控制器，当可编程控制器的个数大于1时还包括适配器。上位机分别与可编程控制器、协议转换器相连，当可编程控制器的个数大于1时通过适配器与上位机相连，协议转换器分别与温度控制器、DA转换器相连，DA转换器与真空计、质量流量控制器相连。上位机嵌入了系统登录模块、控制系统界面模块、串口通信模块、温度控制模块、流量控制模块、真空度采集模块和数据存储模块。本发明通讯、数据处理能力强；控制系统的结构易于调整、升级，抗干扰能力强；通用性强。
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公开(公告)号：CN1827845A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200510047679.0
申请日：2005-11-11
Applicant: 东北大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供了一种射频等离子体增强化学气相沉积方法，先在基底上沉积一层金属层，依次在金属层上沉积其氮化物层或者碳化物层，再在氮化物或者碳化物层上沉积类金刚石碳膜。本发明还提出了一种用该方法制造的带复合型包覆层的部件，部件的基材可以是金属、陶瓷、玻璃和有机树脂材料。本发明相应地提出了一种实施射频等离子体增强化学气相沉积方法的装置，该装置安装有至少一个金属溅射源，并把真空室分为等离子体生成室和等离子体处理室两个相连通的空间。在等离子体处理室内安有一对大面积的电极板，以确保镀层的均匀性和各向同性。通过调节电压、电流和真空室内Ar、N2和含碳气体组分，可沉积高附着力的类金刚石碳膜。
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公开(公告)号：CN114607598B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202011445831.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号：CN114607600B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202011447705.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。
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公开(公告)号：CN114607599A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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