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公开(公告)号：CN1506607A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据Qc＝KP1(K为常数)计算下游侧流量Qc，根据该计算流量Qc与设定流量Qs之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQs，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1145790C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构，把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时，可防止压力检测器的应力引起隔膜变形，避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此，本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触，密封片与隔膜基座的本体部下面接触，同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽，推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN1320230A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在利用节流孔的压力式流量控制装置上,一面进行流体的流量控制,一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上,按Qc=KP1(K为常数)计算下游侧流量Qs,根据该计算流量Qc与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中,由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅Vo的检定用信号ΔQs,测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V,当该压力振幅V小于极限振幅Vt时,报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQs叠加在正常设定流量信号Qso上向控制阀CV输出时,能一面根据正常设定流量信号Qso进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1319181A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN111373182A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880074687.X
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用限位开关就能够对阀的开闭状态进行检测的阀装置的控制装置。阀装置(1)具有对供流体流通的流路进行开闭的隔膜(20)、向流路的关闭方向对隔膜(20)施力的螺旋弹簧(90)、进行驱动以克服螺旋弹簧(90)的施力的主致动器(60)、以及利用了压电元件的调整用致动器(100)，该压电元件用于调整流路的基于隔膜(20)的开度，控制器(200)基于调整用致动器(100)的压电元件产生的电压来对流路的开闭状态进行检测，并且利用该检测信号对阀装置(1)进行控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106687728B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201580039826.1
申请日：2015-08-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K7/14 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
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公开(公告)号：CN107925368B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201680030926.2
申请日：2016-08-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H02N2/04 , F16K31/02 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备：积层压电致动器；支撑积层压电致动器，并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件；沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件；以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部，位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状，在各位移传递部件的下端部，以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔，在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。
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公开(公告)号：CN109863336A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201780065702.X
申请日：2017-10-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供充分发挥手动阀型小型化的优点并解决其课题的电动阀型的流量调节阀。具有通过使旋转体(15)旋转而使上下移动体(6)上下移动的旋转装置。旋转装置包括在旋转体(15)的上端部设置的从动齿轮(14)和使与从动齿轮(14)啮合的驱动齿轮(13)的马达(11)。马达(11)采用步进伺服马达，配置在驱动齿轮(13)的下方，马达(11)的旋转轴(34)向上延伸，在其上端部固定有驱动齿轮(13)。
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公开(公告)号：CN105940357B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201580002126.5
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。
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公开(公告)号：CN105247344B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201480008102.6
申请日：2014-04-30
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定从而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性。本发明为由检测器主体(2)、设置于检测器主体(2)的上面或下面的光振荡部和光检测部构成的光分析式原料流体浓度检测器，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在检测器主体上面或下面形成有至少一个凹部，并且检测器主体具备：从检测器主体的流体入口与凹部连通的流体流路；连通凹部之间的流体通路；从凹部与检测器主体的流体出口连通的流体流路，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在最接近入口的凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部。
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