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公开(公告)号：CN108332664B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201810316350.7
申请日：2018-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于侧面激光耦合的光纤探针传感装置、传感方法及探针制备方法，属于微尺寸测量技术领域；本发明是为了解决现有光纤探针所面临的结构复杂，不具备轴向探测能力或轴向探测能力受限的问题。通过光纤熔融挤压或拉伸方式改变纤芯结构，令激光从光纤包层耦合进入纤芯内部进而从端面出射，通过弹性膜片实现对光纤探针的悬挂及导向，结合共焦探测原理获得高分辨力的三维光纤探针系统。本发明的特点是：探针重量轻且结构简单、探测光强稳定且易于探测、分辨力高且具有轴向探测能力。
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公开(公告)号：CN105547145B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510868029.6
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种超分辨结构探测共焦相干成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、工业样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统CTF带宽变大。本发明提高了共焦相干成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于工业形貌成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN105319195B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510867993.7
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 一种超分辨结构探测阵列共焦荧光成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、荧光样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统OTF带宽变大。本发明提高了共焦荧光成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于工业形貌成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN108332671A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810316931.0
申请日：2018-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/02
Abstract: 一种表面荧光增强微型探针二维传感装置、传感方法及探针制备方法，属于微尺寸测量技术领域；本发明是为了解决现有光纤探针所面临的光耦合效率低，结构复杂的问题。在光纤端面沉积荧光物质，使光纤端面具备自发光出射能力，宽场照明系统激发荧光物质发出荧光，荧光通过透镜聚焦，由CCD探测聚焦光斑的位置，当所述探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致荧光在CCD上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由光纤端面荧光探针、宽场照明装置、夹持器、滤波片、透镜、CCD装配构成；本发明的特点：探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。
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公开(公告)号：CN105352936B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510816948.9
申请日：2015-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 一种基于相干反斯托克斯拉曼散射效应的超分辨显微成像方法，它涉及一种成像方法。本发明的目的是为了解决现有技术的光学显微成像方法成像时间长，成像光路复杂，对成像结构要求高的问题。本发明将泵浦光、斯托克斯光和探测光共线聚焦于样品，调整泵浦光、斯托克斯光和探测光的聚焦光斑中心的距离使三束光斑边缘相互重叠，形成三束光聚焦光斑的共同重叠区域；向外侧移动泵浦光、斯托克斯光和探测光聚焦光斑中心，减小共同重叠区域的面积。本发明光路结构相对简单，易于实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107085290A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710439347.X
申请日：2017-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/0036 , G02B21/0068
Abstract: 一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法，属于共焦显微成像领域。解决了现有CCD相机受到曝光速度影响，图片采集速率较低的问题。本发明包括半导体激光器、衰减片、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、扫描振镜系统、远心扫描透镜、管镜、第二偏振分光棱镜、1/4波片、物镜、第一收集透镜、光电探测器、第二收集透镜、CCD相机和控制器；通过调制共焦光路中的CCD相机曝光时间，扫描振镜系统及半导体激光器触发信号，在CCD相机的一帧图像上获取多个振镜偏转角度对应的激光光斑，实现并行扫描。本发明主要用于对样品进行扫描。
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公开(公告)号：CN105841608A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610165130.X
申请日：2016-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/00
Abstract: 一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法，属于尺寸测量技术领域。为了解决光电探测器必须位于出射光聚焦的像面上，位移放大倍率不可调的问题。本发明所述的激光器的发光口与光纤的一端相连；夹持器固定在光纤上，以光纤被夹持器固定的部分和光纤的另一端作为两个端点的一段光纤构成光纤悬臂梁，所述光纤的另一端为自由端；探针的一端固定在光纤悬臂梁中间部位，触球固定在探针的另一端上；准直透镜位于光纤出射光路上；光电探测器位于光纤出射光路上，并且，准直透镜位于光纤和光电探测器之间。本发明的有益效果为位移放大倍率可根据需要调整。本发明适用于微尺寸和大深径比内腔结构的高精度测量。
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公开(公告)号：CN105547144A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510868011.6
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02042 , G01B9/02048
Abstract: 一种超分辨结构探测阵列共焦相干成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次放置准直扩束器、微透镜阵列、准直透镜、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、工业样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统CTF带宽变大。本发明在提高共焦系统横向分辨力的同时提高结构探测共焦相干成像系统的成像速率，可适用于工业样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN103256888A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310167659.1
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明可以提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN103226238A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310176241.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法属于光学精密测量技术领域，具体涉及一种共焦显微镜和其扫描方法；利用反射式液晶空间光调制器取代传统共焦横向扫描装置中的横向扫描机构，通过改变反射式液晶空间光调制器载入的相位驱动图，实现光束的二维偏转，从而实现非机械的横向扫描；这种设计，使得显微物镜和被测物均不需要横向移动，即可实现对被测物的横向光束扫描，不仅可以避免三维微位移平台精确和复杂的控制，而且可以提高扫描精度和重复性，尤其对易形变样品效果更加明显，因此还能扩大测量样品种类。
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