单探测器的红外干涉检测装置及其设计方法

    公开(公告)号:CN114061449B

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202111280898.9

    申请日:2021-11-01

    Abstract: 本发明公开了一种单探测器的红外干涉检测装置及其设计方法,可用于红外光学系统的干涉检测。所述检测装置实现了采用一个红外探测器形成对点光路和干涉成像光路的红外干涉光路形式,解决了传统的双探测器干涉仪结构形式成本昂贵的问题,减少了探测器数量,降低造价成本;挡板的引入使得光路可以实现对点成像光路和干涉成像光路两种模式间简单又快速地切换,解决了现有的单探测器干涉仪结构因机械件位移导致的切换光路模式具有延迟性、机械结构较为复杂和重复定位精度不够高的问题。

    一种宽光谱平场复消色差显微物镜

    公开(公告)号:CN108957718B

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201710387651.4

    申请日:2017-05-27

    Abstract: 本发明公开了一种宽光谱平场复消色差显微物镜。该显微物镜属于无限远共轭物镜,包括顺次设置的第一部分、第二部分、第三部分,其中:第一部分包括顺次设置的盖玻片、第一弯月透镜和第二弯月透镜,第一部分提供光焦度,并为之后部分减小数值孔径;第二部分包括顺次设置的第一双胶合透镜、第二双胶合透镜、第三双胶合透镜和三胶合透镜,第二部分用于校正色差;第三部分包括第四双胶合透镜,用于辅助补足光焦度,并校正场曲。本发明较相同倍率物镜数值孔径大,增大了荧光显微成像的亮度,并且光谱范围宽,覆盖了大部分可见光以及部分近红外光,最终实现了复消色差。

    高深宽比微结构反射式干涉显微无损测量装置

    公开(公告)号:CN112097645A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010896309.9

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种高深宽比微结构反射式干涉显微无损测量装置,解决了现有测试技术无法对硅基MEMS器件中高深宽比沟槽结构的深度和宽度进行无损测量的问题。本装置充分利用近红外光能够穿透硅基底的优势,可以用大数值孔径会聚光束进行测量;针对显微物镜会聚的大数值孔径光束被待测样品的沟槽结构调制降低光束聚焦性的问题,设置显微物镜出瞳像差监测光路和像差主动补偿系统,使得大数值孔径光束能够汇聚到沟槽底部;使用垂直扫描干涉法,得到待测样品沟槽结构的深度和宽度测量结果。本发明克服了现有测量技术无法实现硅基MEMS器件高深宽比沟槽结构无损测量的难点,能够对待测样品深沟槽结构的深度和宽度进行高精度无损测量。

    Mirau型超分辨率干涉显微物镜

    公开(公告)号:CN109828365A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910137549.8

    申请日:2019-02-25

    Abstract: 本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜,利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率,利用微球透镜突破衍射极限,实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜,在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜,优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数,获得清晰的三维超分辨干涉条纹,实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨,获取待测微结构的三维高分辨信息,无需对样品进行复杂的标记处理,可以实现快速、无损的测量,具有很强的实用价值。

    一种多区域结构位相型波带片

    公开(公告)号:CN106405700B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201510487379.8

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片,包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径其中第一个环带的半径λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下,相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸,带宽变宽更易于加工。

    光学自由曲面的像散补偿型干涉检测装置与检测方法

    公开(公告)号:CN106840027A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710051247.X

    申请日:2017-01-20

    Abstract: 本发明公开了一种光学自由曲面的像散补偿型干涉检测装置与检测方法,所述装置包括He‑He激光器、扩束系统、1/2波片、偏振分光棱镜、第一~二1/4波片、标准平面反射镜、移相器、第一汇聚透镜、待测自由曲面、第二汇聚透镜、平面反射镜、偏振片、旋转毛玻璃屏、成像物镜、探测器、显示器、计算机。方法为:将待测自由曲面倾斜放置,使检测光束以特定的角度倾斜入射,以补偿待测自由曲面的主要面形误差成分像散,从而减小后续检测光束的发散程度,使探测器上的条纹被分辨;由探测器采集得到一系列移相干涉图,经波面复原算法处理得到待测自由曲面的面形。本发明采用了像散补偿的方法,可以检测一类以像散为主要面形误差成分的光学自由曲面,稳定性高、成本低。

    基于人眼虹膜反射房水近红外光谱的无创血糖检测装置

    公开(公告)号:CN106691459A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201510486516.6

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种基于人眼虹膜反射房水近红外光谱的无创血糖检测装置,包括卤钨灯、带通滤光片、注视目标、近红外光谱仪、数据处理模块、人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型模块和LED屏。卤钨灯产生连续的近红外光束,经带通滤光片后以倾斜方向注入人眼。经人眼角膜和房水透射及虹膜反射后,出射的近红外光中包含房水内的葡萄糖含量信息。近红外光谱仪对出射的近红外光进行收集,并分析得到其光谱数据信息,并将其送入数据处理模块。数据处理模块对光谱数据信息进行预处理,将预处理后的数据送入人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型模块,得到准确的血糖值,并在LED屏上显示。本发明提高了近红外光谱仪入射信号的信噪比,提升了血糖检测的准确性。

    建立人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型的方法

    公开(公告)号:CN106645018A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201510489914.3

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种建立人眼房水葡萄糖含量近红外光谱预测数学模型的方法,步骤如下:建立人造前房模型以及调配人造房水溶液作为校正集;应用近红外光谱仪采集从校正集的人造前房中返回的包含人造房水溶液内葡萄糖含量信息的近红外光谱数据;对测得的近红外光谱进行预处理;再利用偏最小二乘法将人造房水溶液中实际葡萄糖含量与经光谱预处理后的人造房水溶液的近红外光谱数据相关联,运用完全交互检验验证法对所建模型的拟合及预测能力进行评价,从而建立起基于近红外光谱信息的人眼中葡萄糖含量的预测数学模型。本发明可以实现对未知葡萄糖浓度的房水近红外光谱进行葡萄糖浓度的预测,可用于在体人眼房水葡萄糖浓度的高精度预测。

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