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公开(公告)号:CN101813107A
公开(公告)日:2010-08-25
申请号:CN200910246918.3
申请日:2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种气缸式升降机构,包括安装座、气缸马达、托架及导向组件,气缸马达安装在安装座上,所述气缸马达具有活塞杆,活塞杆一端与气缸马达活动连接,另一端与托架固定连接,导向组件包括导向轴以及滑动地套于导向轴外的轴套,导向轴的一端与托架固定连接,导向轴的另一端悬空,导向轴的轴向平行于活塞杆的长度方向,轴套固定设置在托架与安装座之间。由于本发明的气缸式升降机构利用气缸马达提供动力,通过活塞杆输出动力来使托架做升降运动,传动简单,通过导向组件对托架的运动起导向作用,有效的保障了升降的平稳、精确、可靠。其组合新颖,整体结构紧凑且易于控制,推动距离可根据需要选择不同行程的气缸马达和导向组件进行调节。
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公开(公告)号:CN101777361A
公开(公告)日:2010-07-14
申请号:CN200910266717.X
申请日:2009-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/263 , B29C33/68 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/3652 , G11B7/0065
Abstract: 本发明公开了一种蓝光光盘压模装置,包括安装座、下模板及上模板,所述安装座具有呈水平的安装面,所述下模板安装于所述安装面上,所述下模板具有平整的下压合面,所述上模板具有与所述下压合面相对的且平整的上压合面,所述下压合面的中心处凸伸出定位柱,所述上压合面正对所述定位柱处向内凹陷形成定位孔,其中,还包括具有弹性的呈圆形的垫片,所述垫片中心处开设有安装孔,所述定位柱穿过所述垫片的安装孔使所述垫片承载于所述下压合面上,所述垫片的外圈具有凸伸出正对所述上压合面的凸圈。本发明蓝光光盘压模装置在压模过程中,能够自动调整上下模具达到微米级平行度。
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公开(公告)号:CN101704452A
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200910192023.6
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65G49/00 , B65G49/06 , B65G13/02 , B65G13/04 , B65G13/06 , B65G13/07 , B65G39/02 , B65G39/04 , F16H37/00 , F16C35/00 , H02K7/116 , G02F1/1333 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种滚轮装置驱动机构,适用于驱动平行安装于真空腔内用于传输基片的滚轮装置,包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖,真空腔的腔壁开设有安装孔,密封盖密封地安装于安装孔内,密封盖具有中空结构的凸起,磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套,传动齿轮套于外磁环套外,凸起穿过外磁环套并与传动齿轮枢接,传动齿轮与驱动装置连接,内磁环套固定套设在滚轮装置的滚轮轴上并容置于凸起的中空结构内,外磁环套与内磁环套均内嵌有永磁体,驱动装置带动传动齿轮转动,传动齿轮带动外磁环套旋转,外磁环套带动内磁环套旋转,内磁环套带动滚轮装置的滚轮轴旋转。本发明滚轮装置驱动机构密封效果好、不易损坏、高清洁度、无噪音。
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公开(公告)号:CN101694210A
公开(公告)日:2010-04-14
申请号:CN200910042149.5
申请日:2009-08-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: F04B39/00
Abstract: 本发明公开了一种缓冲减震装置,缓冲减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管,第二法兰的上表面与真空腔体密封连接,第一法兰的下表面与真空泵密封连接,波纹管具有第一开口端及第二开口端,波纹管的第一开口端与第一法兰的上表面密封连接,波纹管的第二开口端与第二法兰的下表面密封连接,第一法兰与第二法兰均为圆环结构,圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部,凸出部上开设有安装孔,其中,还包括气弹簧及螺母,气弹簧两端分别具有连接部,连接部上开设有外螺纹,螺母具有与外螺纹相啮合的内螺纹,气弹簧两端的连接部对应的穿过第一法兰与第二法兰的安装孔并与螺母啮合。本发明缓冲减震装置结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长。
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公开(公告)号:CN101692352A
公开(公告)日:2010-04-07
申请号:CN200910192939.1
申请日:2009-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种位置调节机构,包括前置块、后置块、顶紧螺钉及拉紧螺钉,所述后置块开有第一螺纹孔和通孔,所述前置块相邻所述后置块的一侧且对应所述通孔的部位开有第二螺纹孔,所述顶紧螺钉旋穿过所述第一螺纹孔与所述前置块抵触,所述拉紧螺钉穿过所述后置块的通孔与所述前置块的第二螺纹孔旋合。本发明的位置调节机构采用顶紧螺钉和拉紧螺钉配合调节,调节方式简单方便,通过拉紧螺钉拉紧所述前置块与所述后置块之间的距离,同时顶紧螺钉隔开两者之间距离,在拉力和顶力的共同作用下,使所述前置块与所述后置块之间的位移得到精确、稳定、可靠的调节。
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公开(公告)号:CN101673810A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200910042397.X
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种腔盖启闭机构,包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔,其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体,支撑体与腔体的一侧壁固定连接,连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖,连接轴的两端分别与两执行机构连接,蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内,蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合,减速器的输出轴与蜗杆一端连接,输入轴与传动轴的一端连接,传动轴的另一端与驱动机构连接,控制单元控制驱动机构运动,驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构,实现腔盖的启闭,本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形,保证OLED生产中真空设备的高真空度。
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公开(公告)号:CN101673699A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200910042395.0
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
CPC classification number: G02B21/34
Abstract: 本发明公开了一种基片盒载台,其中,还包括检测单元,检测单元包括光电传感器、传感器支架、传感器反射板、传感器挡板、悬挂轴及控制装置,传感器支架安装于第二支撑板上,传感器反射板安装于第二支撑板上,光电传感器设置于传感器反射板正下方并与控制装置电连接,第二支撑板上开设有通槽,传感器挡板具有沿相反方向延伸的第一弯折部和第二弯折部,传感器挡板呈倾斜地贯穿通槽,第一弯折部的弯折处搭载于悬挂轴上,悬挂轴连接于第二支撑板上,第一弯折部斜向上地突出通槽的上端,第二弯折部斜向下地突出通槽的下端并邻近光电传感器与传感器反射板的形成的光通路。本发明能有效的防止基片从基片盒内跌落,并能大幅度的提高基片传输效率和质量。
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公开(公告)号:CN101670942A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200910192036.3
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65G49/00 , B65G49/06 , B65G35/06 , H01L21/677 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种基片运载装置,适用于安装在真空腔体内对基片进行传送,所述基片运载装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座,所述基片座上开设有承载基片的凹槽,所述底座的两侧平行地设有轨道,所述基片座枢接有第一滚轮,所述第一滚轮与所述轨道接触,所述传动组件包括齿条及若干齿轮,所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴,所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座,且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机,所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合,所述驱动电机驱动所述齿轮,所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本发明基片运载装置尤其适用于真空环境的基片传送,传送过程安全、定位精确。
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公开(公告)号:CN101656223A
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN200910041510.2
申请日:2009-07-29
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , G05B19/04
CPC classification number: B25J9/1612 , H01L21/68721 , H01L21/68728
Abstract: 本发明公开了一种多抓手重复智能抓取释放装置,适用于抓取、释放板状物体,包括多个抓手、抓手驱动机构、托板、托板驱动机构、托板传感器及控制系统;所述抓手包括抓持部、抓手固定座、扭转弹簧,抓持部与抓手固定座枢接,扭转弹簧的上支撑点与抓持部抵触,下支撑点与抓手固定座抵触;抓手驱动机构与抓持部连接并驱动抓手打开或关闭;托板承载板状物体;托板驱动机构与托板连接并驱动所述托板移动;托板传感器检测托板的承载信息;控制系统分别与抓手驱动机构、托板驱动机构及托板传感器电连接,处理托板传感器检测的托板的承载信息并控制抓手驱动机构和托板驱动机构的动作。托板传感器与扭转弹簧使本发明及时、智能、重复的抓取释放板状物体。
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公开(公告)号:CN101651114A
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200910042110.3
申请日:2009-08-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种精确位置调节装置,包括安装座、工作台、传动机构及驱动机构,所述传动机构包括传动轴、传动带、驱动轮及固定有多个传动轮的安装板,所述传动轴一端与工作台固定连接,另一端固定地穿过安装板并与安装座枢接,多个所述传动轮以传动轴为中心对称分布,所述驱动轮与传动轮位于同一平面上,所述工作台的旋转半径大于驱动轮的旋转半径。所述精确位置调节装置装配简单,维修更换方便,利用驱动轮带动边角固定有传动轮的安装板转动,从而带动工作台转动,实现在驱动轮与工作台具有相同线速度的同时使工作台具有相对驱动轮很小的角速度,使工作台能够平稳、精确、小角度的运转。本发明也公开了一种具有该装置的半导体在线检测系统。
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