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公开(公告)号：CN107818925A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710606084.7
申请日：2017-07-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
Inventor： 伊藤祯朗
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H05B3/0047 , G01J5/0007 , G01J5/041 , G01J5/0865 , G01J5/602 , G01J2005/0055 , G01J2005/604 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H01L21/68707 , H05B1/0233 , H05B3/009
Abstract: 一种热处理装置，即使在吸收红外光的处理气体的环境中，也能够准确地测量基板温度。在对半导体晶片进行热处理的室内形成氨气环境，该氨气吸收与辐射温度计(120)的测量波长区域重叠的波长区域的红外光。通过在辐射温度计(120)的光学透镜系统(21)和检测器(23)之间设置滤光片(22)来排除氨气吸收红外光带来的影响，该滤光片(22)有选择地使不与氨气吸收的波长区域重叠的波长的红外光透过。此外，从表示向辐射温度计(120)入射的红外光的能量和黑体的温度之间的相关关系的多个变换表(26)中，选择与设置的滤光片(22)对应的变换表(26)供辐射温度计(120)使用。由此，不管是否处于氨气环境，都能准确地测量半导体晶片(W)的温度。
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公开(公告)号：CN86108353A
公开(公告)日：1987-06-17
申请号：CN86108353
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 约翰·德斯蒙德·罗兰 , 埃内斯托·苏亚雷斯-冈萨雷斯
CPC classification number: G01J5/08 , G01J5/0821 , G01J5/60 , G01J2003/1226 , G01J2005/604
Abstract: 测量目标温度的高光效光谱高温计包括一光波导装置以收集并引导目标光束到达检测组件。检测组件由干涉滤光片和光检测器构成。它们可以调节定位以使得到达那里的目标光束有效的耦合。该高温计还包括一个信号处理装置，它从光检测器接收信号，也接收指示估算的火球等效黑体温度的信号，以及该两个检测器之间光谱宽度差的指示信号，并提供经补偿的温度信号。
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公开(公告)号：CN86108489A
公开(公告)日：1987-06-17
申请号：CN86108489
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 埃内斯托·苏亚雷斯-冈萨雷斯
CPC classification number: G01J5/60 , G01J2005/0059 , G01J2005/604 , G01J2005/607
Abstract: 校正反射辐射功率密度的光学高温计包括一个用来接收从喷气发动机涡轮叶片发出的目标光束的光导。该目标光束被导入检测器组件并被分为二束光，一束光的光谱宽度选得比目标光束光谱宽度小。一个信号处理器接收来自检测器组件的表示两束光能量的信号，由此直接计算反射校正能量信号，并输出正确的目标温度信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107167249A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710411791.0
申请日：2017-06-05
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01J5/60
CPC classification number: G01J5/602 , G01J2005/604
Abstract: 本申请提供一种单相机双波段熔池比色测温方法及系统，该方法包括：光处理步骤、图像获取步骤和比色法温度计算步骤；利用分光镜将待测熔池一束辐射光分为波长和强度完全一致的第一光束和第二光束，通过滤波片组，获得第一过滤光束和第二过滤光束，并利用长工作距离显微镜头对第一过滤光束和所第二过滤光束进行等倍数放大，利用相机获得实时图像，实时图像包括灰度值不同但形状完全相同的第一熔池图像和第二熔池图像；再利用比色温度计算，得到待测熔池表面各点的实时温度；本发明只通过一个相机，能够在线、原位、快速精确的获得熔池表面温度分布信息，避免了比色测温技术中双相机时间不同步带来的误差，同时具有抗干扰能力强、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN1007755B
公开(公告)日：1990-04-25
申请号：CN86108495
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 迪安·阿尔文·凯普文
IPC: G01J5/60
CPC classification number: G01J5/28 , G01J2001/1652 , G01J2005/604 , G01J2005/607
Abstract: 一种新颖的双光谱光学高温计其特征为一组组合的光学探测器。第一光学探测器吸收目标光束入射到这个光学探测器的某一光谱部分，使剩余的光束通过到达第二光学探测器。从两个光学探测器来的信号，与表示第一探测器的光谱吸收信号和等效黑体的火球温度的估计信号一起提供给信号处理器，由此，信号处理器提供一个补尝的温度信号。
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公开(公告)号：CN1010889B
公开(公告)日：1990-12-19
申请号：CN86108353
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 约翰·德斯蒙德·罗兰 , 埃内斯托·苏亚雷斯-冈萨雷斯
CPC classification number: G01J5/08 , G01J5/0821 , G01J5/60 , G01J2003/1226 , G01J2005/604
Abstract: 测量目标温度的高光效光谱高温计包括一光波导装置以收集并引导目标光束到达检测组件。检测组件由干涉滤光片和光检测器构成，他们可以调节定位以使得到达那里的目标光束有效的耦合。该高温计还包括一个信号处理装置，它从光检测器接收信号，也接收指示估算的火球等效黑体温度的信号，以及该两个检测器之间光谱宽度差的指示信号，并提供经补偿的温度信号。
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公开(公告)号：CN1008401B
公开(公告)日：1990-06-13
申请号：CN86108489
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 埃内斯托·苏亚雷斯-冈萨雷斯
CPC classification number: G01J5/60 , G01J2005/0059 , G01J2005/604 , G01J2005/607
Abstract: 校正反射辐射量的光学高温计，包括一个用来接收从喷气发动机涡轮叶片发出的目标光束的光导，该目标光束被导入检测器组件并被分为二束光，其一束光的光谱宽度选得比目标光束光谱宽度小，一个数字信号处理器接收来自检测器组件的表示两束光能量的信号，由此直接计算反射校正能量信号，并输出正确的目标温度信号。
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公开(公告)号：CN86108495A
公开(公告)日：1987-07-01
申请号：CN86108495
申请日：1986-11-14
Applicant: 联合工艺公司
Inventor： 迪安·阿尔文·凯普文
CPC classification number: G01J5/28 , G01J2001/1652 , G01J2005/604 , G01J2005/607
Abstract: 一种新颖的双光谱光学高温计其特征为一组组合的光学探测器。第一光学探测器吸收目标光束入射到这个光学探测器的某一光谱部分，使剩余的光束通过到达第二光学探测器。从两个光学探测器来的信号，与表示第一探测器的光谱吸收信号和等效黑体的火球温度的估计信号一起提供给信号处理器，由此，信号处理器提供一个补偿的温度信号。
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