弹性表面波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1165595A

    公开(公告)日:1997-11-19

    申请号:CN96191103.4

    申请日:1996-09-13

    CPC classification number: H03H3/08

    Abstract: 对在压电性基板上边已形成了由已添加了铜的铝合金膜构成的电极的弹性表面波器件加以改良。在弹性表面波器件的电极中,铝合金膜中的铜元素的浓度在晶粒边界近傍比晶粒内高,故偏析于晶粒边界处。在这种弹性表面波器件的电极中,在晶粒边界处析出的不是以Al与Cu的金属间化合物的形态而是以铜元素的形态存在着的铜的浓度在晶粒边界处比晶粒内高,变成了偏析状态。形成弹性表面波器件的电极的铝合金膜的晶粒边界近傍的铜元素的浓度与晶粒内的铜元素的浓度之比大于1.6。在更为理想的形态中,这一比值大于2.2。形成于压电性基板的表面上边的电极理想的是由添加进0.5wt%~2wt%的铜的铝合金膜构成。另外,还公开了在压电性基板的表面上边形成这种电极的方法。

    电子部件
    2.
    发明公开
    电子部件 审中-实审

    公开(公告)号:CN116896343A

    公开(公告)日:2023-10-17

    申请号:CN202310311046.4

    申请日:2023-03-28

    Abstract: 在本发明的电子部件(1)中,第一电感器(L1)和第二电感器(L2)在第一方向(D1)上排列配置,在第一电感器(L1)和第二电感器(L2)在第一方向(D1)上相邻的区域(R),第一电感器图案(79)的上表面(79S1)和第二电感器图案(80)的上表面(80S1)在第二方向(D2)上的位置、及第一电感器图案(79)的下表面(79S2)和第二电感器图案(80)的下表面(80S2)在第二方向(D2)上的位置中的至少一方不同。

    弹性表面波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1110132C

    公开(公告)日:2003-05-28

    申请号:CN96191103.4

    申请日:1996-09-13

    CPC classification number: H03H3/08

    Abstract: 对在压电性基板上边已形成了由已添加了铜的铝合金膜构成的电极的弹性表面波器件加以改良。在弹性表面波器件的电极中,铝合金膜中的铜元素的浓度在晶粒边界近傍比晶粒内高,故偏析于晶粒边界处。在这种弹性表面波器件的电极中,在晶粒边界处析出的不是以Al与Cu的金属间化合物的形态而是以铜元素的形态存在着的铜的浓度在晶粒边界处比晶粒内高,变成了偏析状态。形成弹性表面波器件的电极的铝合金膜的晶粒边界近傍的铜元素的浓度与晶粒内的铜元素的浓度之比大于1.6。在更为理想的形态中,这一比值大于2.2。形成于压电性基板的表面上边的电极理想的是由添加进0.5wt%~2wt%的铜的铝合金膜构成。另外,还公开了在压电性基板的表面上边形成这种电极的方法。

    表面声波器件及其制造工艺

    公开(公告)号:CN1159843C

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN00803200.9

    申请日:2000-03-31

    CPC classification number: B82Y30/00 H03H3/08 H03H9/02622 H03H9/02937

    Abstract: 在本发明的表面声波器件中,在有含有铝或铝合金的电极的压电基底表面上形成一个金属氧化物层,金属氧化物层形成的方式是至少覆盖所述电极。金属氧化物通过氧化一个薄得足以提供不连续的膜的金属层形成。至少在电极上的其中金属层以不连续的膜的形式存在的一个区域内的金属层通过氧化改变成连续的膜,所述连续的膜可以达到更加改进的防止腐蚀的效果。另外,设置金属氧化层对于表面声波器件的电气特性没有实质的影响。

    弹性表面波滤波器以及弹性表面波共振器

    公开(公告)号:CN101154935A

    公开(公告)日:2008-04-02

    申请号:CN200710161648.7

    申请日:2007-09-27

    Abstract: 本发明是一种在压电基板上具有IDT的SAW滤波器,该IDT,是使具有在弹性表面波的传播方向上排列的多个交叉电极指和连接这些交叉电极指的母线的梳形电极相对、并且使交叉电极指彼此相互交叉而形成的,所述IDT具有一个以上的分支电极指,该一个以上的分支电极指从交叉电极指分支,并且位于交叉电极指彼此交叉的交叉部与母线之间的非交叉部内,该分支电极指包含在与弹性表面波的传播方向大体垂直的方向上延伸的分支电极指主体部。可以适用于纵耦合多重模式滤波器、梯形滤波器、共振器、在纵耦合多重模式滤波器上串联连接了共振器的滤波器等的任何一种。可以得到高Q值、低插入损失,并且对于电极损伤的承受能力高的SAW滤波器以及SAW共振器。

    表面声波器件及其制造工艺

    公开(公告)号:CN1338146A

    公开(公告)日:2002-02-27

    申请号:CN00803200.9

    申请日:2000-03-31

    CPC classification number: B82Y30/00 H03H3/08 H03H9/02622 H03H9/02937

    Abstract: 在本发明的表面声波器件中,在有含有铝或铝合金的电极的压电基底表面上形成一个金属氧化物层,金属氧化物层形成的方式是至少覆盖所述电极。金属氧化物通过氧化一个薄得足以提供不连续的膜的金属层形成。至少在电极上的其中金属层以不连续的膜的形式存在的一个区域内的金属层通过氧化改变成连续的膜,所述连续的膜可以达到更加改进的防止腐蚀的效果。另外,设置金属氧化层对于表面声波器件的电气特性没有实质的影响。

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