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公开(公告)号：CN116967202A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310877396.7
申请日：2023-07-18
Applicant: 重庆邮电大学
Abstract: 本发明涉及集成电路加工技术领域，具体的说是一种集成电路加工用清洁设备及方法，包括架体组件，且架体组件包括支撑架和清洁箱，清洁箱的下端中间位置固定安装有升降组件，且升降组件的上端卡接有置物组件，升降组件的输出端固定安装有晃动组件，支撑架的中间位置固定安装有水处理组件，且水处理组件与清洁箱相连通，在进行使用时，通过配置多个置物组件，便于进行不间断的进行清洁作业，提高清洁速度，并在进行清洁时，通过超声波对洗板水进行震动，提高清洁效果，便于对残留的油剂等附着物进行清洁，并通过晃动组件，在清洁后，便于将杂质及时抽入到水处理组件的内部，避免在进行出水时，导致再次附着在集成电路板上，便于使用。
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