一种制造化学机械抛光修整器的方法

    公开(公告)号:CN114227555A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111451345.5

    申请日:2021-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法,属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台,激光光束从紫外皮秒激光器中输出,经过激光光路射入三维扫描振镜,三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工,制得表面具有金字塔型结构的基体,再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜,制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工,解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把持力弱等问题,进而保证抛光垫的修整质量及效率,提高晶圆的化学机械抛光的抛光质量。

    一种砂轮混料均匀性图像检测方法及装置

    公开(公告)号:CN108548781B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201810345822.1

    申请日:2018-04-17

    Abstract: 本发明提供了一种砂轮混料均匀性图像检测方法及装置,利用单色光源照射混料机内的混合料表面,并利用CCD相机采集混合料表面彩色图像;进而对彩色图像进行像素点提取,将满足单色光源颜色RGB值范围的像素点作为对比料分布点,通过标准差法或中心偏离法计算对比料分布点的离散度指标值,进而判断对比料在混合料内是否均匀分布,并以此表示混料是否均匀,能够针对混料均匀性做出定量的评价指标,进而保证砂轮产品的磨削性和稳定性,确保了砂轮产品的质量。

    一种砂轮增强用钢环定位投放装置及方法

    公开(公告)号:CN105773454B

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201610287692.1

    申请日:2016-05-04

    Abstract: 本发明涉及一种砂轮增强用钢环定位投放装置及方法,包括底座,底座上设有竖直的旋转立柱,旋转立柱的下端与底座转动连接,旋转立柱的上端设有升降机构,升降机构的下端固定连接有安装板,安装板的下端固定连接有磁铁吸盘,磁铁吸盘的下端设有三爪卡盘,三爪卡盘下方设有竖直的中心定位套,中心定位套的上端与安装板固定连接,中心定位套的下端设有开口向下的圆形开口,中心定位套的下方设有砂轮模套,砂轮模套的中心设有与中心定位套下端圆形开口配合使用的圆柱形模具芯轴。该装置结构简单、操作方便,解决了目前砂轮生产中钢环放入时,存在钢环和砂轮难同心、甚至不在同一水平面上、增强效果降低、影响平衡性能的问题。

    一种喷砂硬度机的校准方法

    公开(公告)号:CN105181512B

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201510555334.X

    申请日:2015-09-02

    Abstract: 本发明公开了一种喷砂硬度机的校准方法。该校准方法包括以下步骤:1)选择至少两块标准硬度值不同的标准硬度块为校准块,不同校准块以坑深值计的标准硬度值最大差值不超过4.6mm,最小差值不小于0.8mm;2)利用步骤1)选出的校准块,对喷砂硬度机进行校准;如果喷砂硬度机在各个校准块上的喷砂坑深值均在允许范围内,校准工作完毕;如果喷砂硬度机在至少一个校准块上的喷砂坑深值不在允许范围内,调整喷砂硬度机后继续测定,直至喷砂硬度机在所有校准块上的喷砂坑深值均在允许范围内,校准工作完毕。该校准方法可精确校准喷砂硬度机在整个测量范围内的准确性。

    一种陶瓷金属复合结合剂、制备方法及金刚石砂轮

    公开(公告)号:CN105397648B

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201510730615.4

    申请日:2015-11-02

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷金属复合结合剂、制备方法及金刚石砂轮,该复合结合剂由以下重量份数的组分组成:35~40份的SiO2,25~30份的H3BO3,10~15份的Li2B4O7,3~10份的AlF3,2~6份的Na2S,2~5份的Fe2N,3~8份的Mg3N2,2~6份的CaF2,15~20份的铅锡合金或镍钛合金;既具有耐火度低(低于650℃)、热膨胀系数小(3.0~4.0×10‑6/℃)、强度高(抗弯强度达150~220Mpa)、气孔率可调、自锐性好、化学稳定性好等优点,还兼具热导率高(20~50W/m·K)、韧性好的优良性能,适合金刚石砂轮成型使用,更好地满足了现代精密磨削加工的需要。

    镀层强度检测试件及其制备方法

    公开(公告)号:CN105445104A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510948328.0

    申请日:2015-12-17

    CPC classification number: G01N3/08 G01N1/28

    Abstract: 本发明涉及镀层强度检测试件及其制备方法以解决现有技术中难以检测镀层强度的问题。为解决该技术问题,本发明的镀层强度检测试件的两分体上开设有能实现凹凸互补插接配合的两个分体,两分体通过螺纹紧固件固连为一体而形成试件,两分体的外表面的对接处附近形成电镀区。各个分体均包括供实验机装夹的装夹段及用于实现两分体的同轴互补插接配合的插配段,由于两分体的插配段互补地插接在一起,故在内的插配段可由内而外地支撑在外的插配段,两分体的凹凸互补的插配结构更是能够将可能发生的径向位移约束到极小的范围,从而有效地避免了电镀层因承重过大和相互错动而可能造成的镀层折断,也有利于保证镀层厚度一致及实验结果准确。

    旋转体静平衡测量方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104101463A

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201410321890.6

    申请日:2014-07-08

    Abstract: 旋转体静平衡测量方法,包括以下步骤:(1)、布置测量装置;(2)、将旋转体放置到托盘上,定位芯轴支撑旋转体并定位于旋转体的中心孔;(3)、操控升降驱动装置驱动定位芯轴缓慢上升;(4)、操控升降驱动装置驱动定位芯轴缓慢下降,旋转体随着定位芯轴落下并由托盘支撑,此时旋转体在圆面各部分重量由不同的称重传感器测出,并通过控制器的计算分析,旋转体不平衡量和不平衡方位通过显示屏采用数字或图形显示出来。本发明具有以下有益效果:1、直观;2、精度高;3、重复性好;4、本发明可用于砂轮半成品检验;5、适用范围广。

    一种动平衡或静平衡用的平衡轴及其固定方法

    公开(公告)号:CN104006921A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410216368.1

    申请日:2014-05-22

    Abstract: 本发明要解决的技术问题是现有的平衡用平衡轴装夹费时,效率低,操作麻烦,平衡精度低,为解决上述问题,提供一种动平衡或静平衡用的平衡轴及其固定方法,包括平衡芯轴,所述平衡芯轴中部为圆柱面;在所述平衡芯轴中部套装有外锥套;在所述外锥套外装配有相对应的用于装配工件的内锥套;在所述平衡芯轴上安装有用于锁紧内外锥套的压紧螺母。本发明易与使被平衡物体的轴线和平衡轴的轴线重合,定位精度提高,无需找正,物体多次装卸平衡精度不变,定位精度提高,多次装卸不影响平衡精度,便于操作。

    一种基于机器视觉的砂轮修整方法及装置

    公开(公告)号:CN110517276A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201910631969.1

    申请日:2019-07-12

    Inventor: 王帅 李彬 包华

    Abstract: 本发明涉及一种基于机器视觉的砂轮修整方法及装置,该砂轮的修整方法通过砂轮旋转时得到多处位置的轮廓线信息,将获取的轮廓线信息经过分段处理得到基础线段,以相同位置的基础线段的最大极差作为工作层的跳动,能够准确的计算出工作层跳动量,从而据此进行修整,降低了工作层跳动,提高了砂轮轮廓精度,使得修整后的砂轮具有更好的磨削效果,可用于精密磨削,有助于提高修整后的砂轮磨削性能的稳定性。

    一种陶瓷金属复合结合剂、制备方法及金刚石砂轮

    公开(公告)号:CN105397648A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201510730615.4

    申请日:2015-11-02

    CPC classification number: B24D3/14 B24D3/06 B24D3/342

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷金属复合结合剂、制备方法及金刚石砂轮,该复合结合剂由以下重量份数的组分组成:35~40份的SiO2,25~30份的H3BO3,10~15份的Li2B4O7,3~10份的AlF3,2~6份的Na2S,2~5份的Fe2N,3~8份的Mg3N2,2~6份的CaF2,15~20份的铅锡合金或镍钛合金;既具有耐火度低(低于650℃)、热膨胀系数小(3.0~4.0×10-6/℃)、强度高(抗弯强度达150~220Mpa)、气孔率可调、自锐性好、化学稳定性好等优点,还兼具热导率高(20~50W/m·K)、韧性好的优良性能,适合金刚石砂轮成型使用,更好地满足了现代精密磨削加工的需要。

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