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公开(公告)号：CN112611484B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202011453884.8
申请日：2020-12-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器，包括一体式金属压力差动转换元件，一体式金属压力差动转换元件上连接有两个石英双端固支音叉，一体式金属压力差动转换元件上侧及两个石英双端固支音叉外侧连接有上盖帽，形成真空密封；一体式金属压力差动转换元件下侧连接有下盖板，下盖板密封PCB安装腔室，完成普通气密；两个石英双端固执音叉垂直交叉平行地安装于柔性框架的左右两侧，柔性框架一端与待测压力通道一体固接，另一端与固定外框架一体固接；本发明通过测量个石英双端固执音叉的频率变化，可获得待测压力信息，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰，具有数字信号输出，精度高，抗干扰能力强等特点。
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公开(公告)号：CN109765404A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201811626393.1
申请日：2018-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片及加工工艺和加速度计，芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构，石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块，硅基结构包括硅基框架和硅质量块；在石英框架和硅基框架处，以及石英质量块和硅质量块处完全键合，形成第一石英结构、硅基结构、第二石英结构的三明治形式；加工工艺是先进行硅基初加工，再进行硅基和两个石英片双面键合，两个石英片减薄和抛光，然后进行石英振梁电极及石英结构的制作，最后进行硅基结构的释放。本发明具有灵敏度高、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN109883581A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910216559.0
申请日：2019-03-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种悬臂梁式差动谐振压力传感器芯片，包括芯片衬底层，芯片衬底层上设有压力敏感膜层，压力敏感膜层上设有支撑层，支撑层上设有悬臂梁结构层；悬臂梁的上下两侧平行对称安装有第一石英双端固支音叉和第二石英双端固支音叉；测量压力时，待测压力作用于敏感压力膜层上，使得悬臂梁结构层的悬臂梁弯曲，两根石英音叉梁分别受到拉应力和压应力的作用，进而使得石英音叉梁谐振频率发生变化，通过测量频率变化，可获得待测压力信息，且形成差动输出，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰；测量过程无需数模转换，输出为准数字的压力信号，具有抗干扰能力强，重量轻和体积小等特点。
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公开(公告)号：CN109775657B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201811628629.5
申请日：2018-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用，其工艺过程为：首先，用压电石英层、释放层和硅基底组成“硅‑释放层‑石英”三明治式QoS基片，硅基底用于强度支撑；压电石英层为器件层；中间层为释放层，由粘接剂组成；第二步，减薄后压电石英层至所需厚度形成指定厚度的压电石英层；第三步，设计释放槽和辅助工艺孔的结构和尺寸，并采用干法刻蚀工艺加工压电石英层的释放槽和辅助工艺孔，加工的深度与减薄后的压电石英层厚度相同；最后，采用特定腐蚀液腐蚀释放层，腐蚀液通过释放槽和辅助工艺孔进入释放层并与释放层反应去掉释放槽和辅助工艺孔对应位置及周围的释放层，形成压电石英可动结构。
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公开(公告)号：CN112611484A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011453884.8
申请日：2020-12-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器，包括一体式金属压力差动转换元件，一体式金属压力差动转换元件上连接有两个石英双端固支音叉，一体式金属压力差动转换元件上侧及两个石英双端固支音叉外侧连接有上盖帽，形成真空密封；一体式金属压力差动转换元件下侧连接有下盖板，下盖板密封PCB安装腔室，完成普通气密；两个石英双端固执音叉垂直交叉平行地安装于柔性框架的左右两侧，柔性框架一端与待测压力通道一体固接，另一端与固定外框架一体固接；本发明通过测量个石英双端固执音叉的频率变化，可获得待测压力信息，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰，具有数字信号输出，精度高，抗干扰能力强等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109883580A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910208085.5
申请日：2019-03-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片,包括推杆，推杆的末端通过柔性铰链和基底连接，推杆的末端两侧连接的第一双端固支音叉、第二双端固支音叉组成差动工作单元；推杆的侧面基底上设有第三双端固支音叉的作为校正工作单元的参考单元，推杆受力端连接至附属的压力敏感结构；双端固支音叉、柔性铰链、推杆和基底为一体化石英晶体加工；附属的压力敏感结构将压力转换为位移，推动推杆绕柔性铰链转动，带动工作单元的两个石英音叉梁发生形变，一个受到拉应力频率升高，另一个受到压应力频率降低，两者的频率差与压力成比例关系，通过测量频率差，进而获得所测压力的大小；本发明具有数字信号输出、灵敏度高和抗干扰性能优良的优点。
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公开(公告)号：CN109775657A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811628629.5
申请日：2018-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用，其工艺过程为：首先，用压电石英层、释放层和硅基底组成“硅-释放层-石英”三明治式QoS基片，硅基底用于强度支撑；压电石英层为器件层；中间层为释放层，由粘接剂组成；第二步，减薄后压电石英层至所需厚度形成指定厚度的压电石英层；第三步，设计释放槽和辅助工艺孔的结构和尺寸，并采用干法刻蚀工艺加工压电石英层的释放槽和辅助工艺孔，加工的深度与减薄后的压电石英层厚度相同；最后，采用特定腐蚀液腐蚀释放层，腐蚀液通过释放槽和辅助工艺孔进入释放层并与释放层反应去掉释放槽和辅助工艺孔对应位置及周围的释放层，形成压电石英可动结构。
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公开(公告)号：CN109883581B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910216559.0
申请日：2019-03-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种悬臂梁式差动谐振压力传感器芯片，包括芯片衬底层，芯片衬底层上设有压力敏感膜层，压力敏感膜层上设有支撑层，支撑层上设有悬臂梁结构层；悬臂梁的上下两侧平行对称安装有第一石英双端固支音叉和第二石英双端固支音叉；测量压力时，待测压力作用于敏感压力膜层上，使得悬臂梁结构层的悬臂梁弯曲，两根石英音叉梁分别受到拉应力和压应力的作用，进而使得石英音叉梁谐振频率发生变化，通过测量频率变化，可获得待测压力信息，且形成差动输出，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰；测量过程无需数模转换，输出为准数字的压力信号，具有抗干扰能力强，重量轻和体积小等特点。
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公开(公告)号：CN112484900B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202011453885.2
申请日：2020-12-12
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L9/08
Abstract: 一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器,包括一体式推拉结构元件，一体式推拉结构元件连接有两个石英双端固支音叉，一体式推拉结构元件上部及两个石英双端固支音叉外部连接有上盖帽形成上腔室，真空封装；一体式推拉结构元件下部连接有下盖板形成下腔室，下腔室为PCB安装腔室，普通密封；两个石英双端固支音叉安装于柔性框架的中轴线上，上下左右对称安装；柔性框架与固定框架在中线处固连，上下两处隔离，保证石英双端固支音叉安装的对称性；通过测量两个石英双端固支音叉频率变化，可获得待测压力信息，具有准数字信号输出，高精度，高稳定性等特点。
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公开(公告)号：CN112484900A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011453885.2
申请日：2020-12-12
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L9/08
Abstract: 一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器,包括一体式推拉结构元件，一体式推拉结构元件连接有两个石英双端固支音叉，一体式推拉结构元件上部及两个石英双端固支音叉外部连接有上盖帽形成上腔室，真空封装；一体式推拉结构元件下部连接有下盖板形成下腔室，下腔室为PCB安装腔室，普通密封；两个石英双端固支音叉安装于柔性框架的中轴线上，上下左右对称安装；柔性框架与固定框架在中线处固连，上下两处隔离，保证石英双端固支音叉安装的对称性；通过测量两个石英双端固支音叉频率变化，可获得待测压力信息，具有准数字信号输出，高精度，高稳定性等特点。
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