薄膜晶体管及其制造方法、以及显示装置

    公开(公告)号:CN101826557B

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201010125208.8

    申请日:2010-02-25

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L29/7869

    Abstract: 本发明提供了薄膜晶体管及其制造方法、以及显示装置,其能够抑制铝扩散到氧化物半导体中,并选择性地刻蚀氧化物半导体和氧化铝。薄膜晶体管包括:栅极电极;沟道层,其主要成分是氧化物半导体;栅极绝缘膜,其设置在栅极电极和沟道层之间;密封层,其设置在沟道层的与栅极电极相对的一侧上;以及一对电极,其与沟道层接触并用作源极和漏极。密封层至少包括:第一绝缘膜,其由第一绝缘材料制成;以及第二绝缘膜,其由具有对氧化物半导体和第一绝缘材料每一者的刻蚀选择性的第二绝缘材料制成,并且设置在第一绝缘膜和沟道层之间。

    薄膜晶体管及其制造方法、以及显示装置

    公开(公告)号:CN101826557A

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN201010125208.8

    申请日:2010-02-25

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L29/7869

    Abstract: 本发明提供了薄膜晶体管及其制造方法、以及显示装置,其能够抑制铝扩散到氧化物半导体中,并选择性地刻蚀氧化物半导体和氧化铝。薄膜晶体管包括:栅极电极;沟道层,其主要成分是氧化物半导体;栅极绝缘膜,其设置在栅极电极和沟道层之间;密封层,其设置在沟道层的与栅极电极相对的一侧上;以及一对电极,其与沟道层接触并用作源极和漏极。密封层至少包括:第一绝缘膜,其由第一绝缘材料制成;以及第二绝缘膜,其由具有对氧化物半导体和第一绝缘材料每一者的刻蚀选择性的第二绝缘材料制成,并且设置在第一绝缘膜和沟道层之间。

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