公开(公告)号：CN116782744A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202310237641.8

申请日：2023-03-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  北田和也 ,  矢野凯己 ,  浅川勉 ,  竹内正浩 ,  堀场靖央 ,  板山泰裕

IPC: H10N30/85 ,  H10N30/00 ,  H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备：紧贴层(445)，其被形成在振动板(36)上，并包含钛；下部电极(441)，其被形成在紧贴层(445)上；扩散抑制层(447)，其被形成在下部电极(441)上，并包含铱；种子层(442)，其被形成在扩散抑制层(447)上，并包含铋；压电体层(443)，其被形成在种子层(442)上，并包含钾、钠、铌；上部电极(444)，其被形成在压电体层(443)上。

公开(公告)号：CN116981339A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310446605.2

申请日：2023-04-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 竹内正浩 ,  堀场靖央 ,  板山泰裕

IPC: H10N30/88 ,  H10N30/87 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种能够对第一电极的端部的剥离进行抑制的压电元件以及液滴喷出头。本发明的压电元件具备：基板；第一紧贴层，其被形成在基板之上，且包含钛；至少一层以上的第二紧贴层，其被形成在基板之上，且包含氧化钛；第一电极，其被形成在第一紧贴层以及第二紧贴层之上；种子层，其被形成在第一电极以及基板之上，且包含钛；压电体层，其被形成在种子层之上；第二电极，其被形成在压电体层之上，其中，第一电极的端部的至少一部分被形成在第二紧贴层之上。

公开(公告)号：CN116896969A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310303947.9

申请日：2023-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 板山泰裕 ,  堀场靖央 ,  竹内正浩

IPC: H10N30/00 ,  H10N30/20 ,  H10N30/85

Abstract: 本发明提供一种能够对裂纹的产生进行抑制的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板，其包含硅；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被形成在压电体层上，在基板与压电体层之间配置有包含绝缘材料的第一扩散抑制层，压电体层在第一区域、第二区域以及第三区域上被连续地形成，其中，所述第一区域为第一电极的表面，所述第二区域为第一扩散抑制层的表面，所述第三区域为基板的表面，第三区域被配置在第一区域与第二区域之间。

公开(公告)号：CN118632611A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410241819.0

申请日：2024-03-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 板山泰裕 ,  堀场靖央 ,  竹内正浩

IPC: H10N30/20 ,  H10N30/853 ,  H10N30/80 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明提供一种能够提高振动板的位移量的压电元件应用器件。本发明的压电元件应用器件具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在振动板的上方；种子层，其形成在第一电极以及振动板的上方；压电体层，其形成在种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在压电体层上，振动板还包含钾和钠，在振动板以及压电体层的二次离子质谱分析中，振动板中的钾的强度低于压电体层中的钾的强度，振动板中的钠的强度低于压电体层中的钠的强度。

公开(公告)号：CN104949788A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510121842.7

申请日：2015-03-19

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 竹内正浩

IPC: G01L9/06 ,  G01C5/06

CPC classification number: G01L9/0054 ,  G01C5/06

Abstract: 本发明提供传感器及其制造方法、高度计、电子设备和移动体，其中，物理量传感器及其制造方法能够提高膜片部与变形电阻元件的定位精度并且能够实现小型化，并且，压力传感器、高度计、电子设备和移动体具备该物理量传感器。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(60)，其具有通过受压而挠曲变形的膜片部(64)；压电电阻元件(71)，其配置于膜片部(64)的一个面侧；以及层叠构造体(8)，其配置于膜片部(64)的压电电阻元件(71)侧，并与膜片部(64)一起构成作为压力基准室的空腔部(S)，层叠构造体(8)使用CMOS工艺来形成。

公开(公告)号：CN104515630A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410493644.9

申请日：2014-09-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 林和也 ,  竹内正浩

IPC: G01L1/10 ,  G01L9/00 ,  G01C5/06

CPC classification number: G01L9/0073

Abstract: 本发明提供物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，其灵敏度优良。物理量传感器(1)的特征在于，其具有：基板(6)，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(64)；固定电极(71)，其设置在隔膜部(64)上；以及可动电极(72)，其具有以隔开空隙的方式与固定电极(71)对置配置的可动部(722)，隔膜部(64)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状，固定电极(71)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状。