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公开(公告)号：CN107405920A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680014432.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14491
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；以及电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号，其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层，所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成，并且在所述限定区域外的区域中，所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。
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公开(公告)号：CN107428166B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680014404.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其在第一方向上形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号；以及粘合剂，其将所述压力室形成板与所述电路板接合，其中所述压电元件的至少一侧的元件端形成在所述限定区域的外侧，并且在与所述第一方向正交的第二方向上由所述粘合剂覆盖。
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公开(公告)号：CN106985523A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201610810603.7
申请日：2016-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率或品质。该MEMS装置的特征在于，包括：压力室形成基板(28)，其形成有作为压力室(30)的贯穿口(30a)；第一基板(33)，其与压力室形成基板(28)层压配置；振动板(31)，其在压力室形成基板(28)与第一基板(33)之间覆盖压力室形成基板(28)且对贯穿口(30a)的一方的开口进行密封；压电元件(32)，其被配置在振动板(31)与第一基板(33)之间并使振动板(31)挠曲变形，压力室形成基板(28)与第一基板(33)相比而较小，且在俯视观察时压力室形成基板(28)的端部被配置在第一基板(33)的端部的内侧。
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公开(公告)号：CN107428166A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680014404.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其在第一方向上形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号；以及粘合剂，其将所述压力室形成板与所述电路板接合，其中所述压电元件的至少一侧的元件端形成在所述限定区域的外侧，并且在与所述第一方向正交的第二方向上由所述粘合剂覆盖。
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公开(公告)号：CN105984223A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610140759.9
申请日：2016-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供不会阻碍压电元件的位移并从电损坏中保护压电元件，从而提高了可靠性的头及液体喷射装置。头具备：流道形成基板(10)，其设置有与对液体进行喷射的喷嘴(21)连通的压力产生室(12)；压电元件(300)，其具有设置在该流道形成基板(10)的一面侧的第一电极(60)；设置在该第一电极(60)上的压电体层(70)；及设置在该压电体层(70)上的第二电极(80)；驱动电路基板(30)，其通过粘合层(35)而与所述流道形成基板(10)的所述一面侧接合，并设置有对所述压电元件(300)进行驱动的驱动电路(31)，所述压电元件(300)与所述驱动电路(31)通过设置在所述流道形成基板(10)及所述驱动电路基板(30)中的任意一方上的凸块(32)而电连接，所述凸块(32)及所述粘合层(35)被设置在所述压电元件(300)的所述压电体层(70)的上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107538914B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710493655.0
申请日：2017-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够小型化的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头及其制造方法。MEMS器件(记录头(3))中，设置有驱动元件(压电元件(32))的第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))和保护驱动元件(压电元件(32))的第二基板(密封板(33))经由粘合剂(43)而被接合，驱动元件(压电元件(32))在第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))与第二基板(密封板(33))之间，被形成在由粘合剂(43)包围的空间(48)的内侧，在粘合剂(43)上设置有将空间(48)与粘合剂(43)的外侧连通的开放孔(49)，开放孔(49)的外侧的端缘与第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))的端缘及第二基板(密封板(33))的端缘对齐。
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公开(公告)号：CN107405920B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201680014432.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；以及电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号，其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层，所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成，并且在所述限定区域外的区域中，所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。
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公开(公告)号：CN107020808A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610811780.7
申请日：2016-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其与第一基板(33)层压配置，并在第一基板(33)侧具有压电元件(32)，第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。
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公开(公告)号：CN105966068A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610133071.8
申请日：2016-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0471 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , B41J2202/18 , H01L41/042 , H01L41/0973 , B41J2/14201 , B41J2/01
Abstract: 本发明提供头以及液体喷射装置，其能够使构成保持部的驱动电路基板小型化并实现成本的降低。所述头具备：形成有两列压电致动器列(310)的流道形成基板(10)；设置有驱动电路(120)、第一凸起(31)以及第二凸起(32)的驱动电路基板(30)，第一凸起(31)被设置于压电致动器列(310)的外侧，粘合层(39)被设置于第一凸起(31)以及第二凸起(32)的两侧，在驱动电路基板(30)上设置有第一贯通孔(35)以及第二贯通孔(36)，在这些贯通孔中设置有第一连接配线(311)以及第二连接配线(312)，压电致动器(300)的第一电极(60)和第一连接配线(311)通过第一凸起(31)而被电连接，第二电极(80)和第二连接配线(312)通过第二凸起(32)而被电连接。
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公开(公告)号：CN105984223B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201610140759.9
申请日：2016-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供不会阻碍压电元件的位移并从电损坏中保护压电元件，从而提高了可靠性的头及液体喷射装置。头具备：流道形成基板，其设置有与对液体进行喷射的喷嘴连通的压力产生室；压电元件，其具有设置在该流道形成基板的一面侧的第一电极；设置在该第一电极上的压电体层；及设置在该压电体层上的第二电极；驱动电路基板，其通过粘合层而与所述流道形成基板的所述一面侧接合，并设置有对所述压电元件进行驱动的驱动电路，所述压电元件与所述驱动电路通过设置在所述流道形成基板及所述驱动电路基板中的任意一方上的凸块而电连接，所述凸块及所述粘合层被设置在所述压电元件的所述压电体层的上方。
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