公开(公告)号：CN110749751A

公开(公告)日：2020-02-04

申请号：CN201911231209.8

申请日：2019-12-05

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  李怀东 ,  邹宇 ,  吕路遥 ,  牛弋翔

IPC: G01Q30/06

Abstract: 本发明涉及一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，包括以下步骤：步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件来获取AFM针尖形貌的信息；步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。本发明在不改变探针硬件设施的条件下，减小由探头驱动器PZT的非线性，系统的温度漂移和探头磨损引起的测量误差，有效地减少和消除AFM图像的失真，从而获得更精确的AFM图像。

公开(公告)号：CN110456104A

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201910765767.6

申请日：2019-08-19

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  牛弋翔 ,  吕路遥 ,  许海山 ,  邹宇

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明涉及一种欠采样光栅扫描原子力显微镜高速成像的方法及系统，首先设计欠采样的光栅扫描模式，并以此生成欠采样光栅扫描图案；然后根据生成的欠采样光栅扫描图案来构造相应的测量矩阵；最后根据测量矩阵以及压缩感知理论重构原子力显微镜图像。本发明能够提高原子力显微镜成像的速度。

公开(公告)号：CN110490806B

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN201910765754.9

申请日：2019-08-19

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  吕路遥 ,  许海山 ,  牛弋翔 ,  邹宇 ,  杨高鹏

IPC: G06T3/40 ,  G06F17/11 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明涉及一种原子力显微镜超分辨率图像重构的方法及系统，将低分辨率原子力显微镜图像L映射到重建高分辨率原子力显微镜图像所需要的空白模板上，得到中间高分辨率图像X，并根据中间高分辨率图像的像素位置信息构造一个相应的特殊测量矩阵，最后利用重构算法重构出高分辨率的原子力显微镜图像。本发明具有整体成像时间短，测量效率高等优点，同时可以降低探针针尖磨损和减少样品表面损伤。

公开(公告)号：CN110490806A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910765754.9

申请日：2019-08-19

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  吕路遥 ,  许海山 ,  牛弋翔 ,  邹宇 ,  杨高鹏

IPC: G06T3/40 ,  G06F17/11 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明涉及一种原子力显微镜超分辨率图像重构的方法及系统，将低分辨率原子力显微镜图像L映射到重建高分辨率原子力显微镜图像所需要的空白模板上，得到中间高分辨率图像X，并根据中间高分辨率图像的像素位置信息构造一个相应的特殊测量矩阵，最后利用重构算法重构出高分辨率的原子力显微镜图像。本发明具有整体成像时间短，测量效率高等优点，同时可以降低探针针尖磨损和减少样品表面损伤。