公开(公告)号：CN107078058A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580062884.6

申请日：2015-11-23

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史蒂芬·M·恩尔拉 ,  麦可·A·斯库拉么尔

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B3/00 ,  H05B3/26

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68735 ,  H05B3/0047 ,  H05B3/265 ,  H05B2203/014

Abstract: 揭示一种用于在处理期间改善工件温度均匀性的设备和方法。设备包含沿着平台的外周安置的环形加热器组合件。环形加热器组合件包含安置于其中或其上的加热元件，其中这些加热元件产生用以加温工件的外边缘的热量。在一些实施例中，环形加热器组合件伸出工件的边缘并且可以暴露于离子束中。

公开(公告)号：CN107535018B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201680023023.1

申请日：2016-04-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦可·A·斯库拉么尔

IPC: H05B3/14 ,  H01R13/24 ,  H05B3/06

Abstract: 一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。热隔绝电接触探针包括：安装板，具有管状的销引导件，所述销引导件界定销通路；盖，耦合至安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于凸缘部与安装板的中间，所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板；电接触垫，安置于空腔内；以及电导体，耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。

公开(公告)号：CN107535018A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680023023.1

申请日：2016-04-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦可·A·斯库拉么尔

IPC: H05B3/14 ,  H01R13/24 ,  H05B3/06

Abstract: 一种热隔绝电接触探针包括：安装板，具有管状的销引导件，所述销引导件界定销通路；盖，耦合至安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于凸缘部与安装板的中间，所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板；电接触垫，安置于空腔内；以及电导体，耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。

公开(公告)号：CN111586904B

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202010472258.7

申请日：2016-04-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦可·A·斯库拉么尔

IPC: H05B3/14 ,  H01R13/24 ,  H05B3/06

Abstract: 一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。热隔绝电接触探针包括：安装板，具有管状的销引导件，所述销引导件界定销通路；盖，耦合至安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于凸缘部与安装板的中间，所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板；电接触垫，安置于空腔内；以及电导体，耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。

公开(公告)号：CN111586904A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010472258.7

申请日：2016-04-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦可·A·斯库拉么尔

IPC: H05B3/14 ,  H01R13/24 ,  H05B3/06

Abstract: 一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。热隔绝电接触探针包括：安装板，具有管状的销引导件，所述销引导件界定销通路；盖，耦合至安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于凸缘部与安装板的中间，所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板；电接触垫，安置于空腔内；以及电导体，耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。