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公开(公告)号：CN108886023B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201780019966.1
申请日：2017-04-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L23/00 , H01L21/301
Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用膜，其为能量射线固化性的保护膜形成用膜，其中，在所述保护膜形成用膜中，至少一侧的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为0.038μm以上。优选所述表面(α)的表面粗糙度(Ra)为2.0μm以下。
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公开(公告)号：CN108701641B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201780013457.8
申请日：2017-02-17
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/301 , H01L21/60 , C09J7/20 , C09J201/00
Abstract: 本发明的保护膜形成用片在支撑片上具备保护膜形成层、且在该保护膜形成层上具备剥离膜而成，该支撑片的与具备该保护膜形成层的一侧相反侧的表面的表面粗糙度为0.5μm以下，基于JIS K7125标准测得的该支撑片的上述表面和该剥离膜的与具备上述保护膜形成层的一侧相反侧的表面之间的静摩擦力为29N以下。
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公开(公告)号：CN111093987B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201880060022.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: B32B27/00 , H01L21/301 , H01L23/00 , H01L23/29 , H01L23/31
Abstract: 本发明为一种保护膜形成用复合片，其含有支撑片与设置在该支撑片上的能量射线固化性的保护膜形成用膜，所述保护膜形成用复合片中，该保护膜形成用膜含有能量射线固化性成分(a0)及非能量射线固化性聚合物(b)，该支撑片的与该保护膜形成用膜接触的层含有树脂成分(X)，该非能量射线固化性聚合物(b)与该树脂成分(X)的HSP距离R12为6.7以上，规定HSP空间，并在该HSP空间内制作该非能量射线固化性聚合物(b)的汉森溶解球时，该能量射线固化性成分(a0)的HSP包含在该非能量射线固化性聚合物(b)的汉森溶解球的区域内。
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公开(公告)号：CN107001876B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201680003816.7
申请日：2016-03-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: C09J7/20 , C09J7/30 , B32B27/30 , B32B27/20 , B32B27/06 , B32B9/00 , B32B9/04 , B32B33/00 , B32B27/26 , C09J11/04 , C09J133/00 , C09J163/00 , C09J201/00 , H01L21/301
Abstract: 本发明提供再剥离性优异的树脂膜形成用片、以及具有该树脂膜形成用片和支撑体直接叠层而成的结构的树脂膜形成用复合片，所述树脂膜形成用片是粘贴于硅晶片、用于在该硅晶片上形成树脂膜的片，其中，待与硅晶片粘贴一侧的该片的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为40nm以上。
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公开(公告)号：CN111093986A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059994.0
申请日：2018-10-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: B32B27/00 , H01L21/301 , H01L23/00 , H01L23/29 , H01L23/31
Abstract: 本发明为一种保护膜形成用复合片，其含有支撑片与设置在该支撑片上的能量射线固化性的保护膜形成用膜，所述保护膜形成用复合片中，该保护膜形成用膜含有能量射线固化性成分(a0)及非能量射线固化性聚合物(b)，该支撑片中的与该保护膜形成用膜接触的层含有树脂成分(X)，该树脂成分(X)的HSP的极性项δP为7.5MPa1/2以下，规定HSP空间，并在该HSP空间内制作该非能量射线固化性聚合物(b)的汉森溶解球时，该能量射线固化性成分(a0)的HSP包含在该非能量射线固化性聚合物(b)的汉森溶解球的区域内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108966656A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201780017025.4
申请日：2017-04-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: C09J7/10 , H01L21/304 , B32B3/26 , C09J201/02 , H01L21/301 , B23K26/00
CPC classification number: B32B3/26 , B23K26/00 , C09J7/00 , C09J7/20 , C09J201/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供保护膜形成用膜及保护膜形成用复合片。所述保护膜形成用膜为能量射线固化性，照射能量射线从而制成保护膜时，保护膜的至少一侧的表面(β’)的最大剖面高度(Rt)小于10μm。所述保护膜形成用复合片具备支撑片，在支撑片上具备所述保护膜形成用膜，对保护膜形成用膜照射能量射线从而制成保护膜时，成为保护膜的表面(β’)的、保护膜形成用膜的表面(β)面向支撑片。
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公开(公告)号：CN108883620A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780020726.3
申请日：2017-04-25
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: B32B27/16 , B32B27/00 , C09J7/20 , C09J201/00
CPC classification number: B32B27/00 , B32B27/16 , C09J7/20 , C09J201/00
Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用复合片，其具备支撑片、并在支撑片上具备能量射线固化性的保护膜形成用膜，在对保护膜形成用膜照射能量射线而制成保护膜时，保护膜与支撑片之间的粘着力为50～1500mN/25mm。
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公开(公告)号：CN108701641A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013457.8
申请日：2017-02-17
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/301 , H01L21/60 , C09J7/20 , C09J201/00
CPC classification number: C09J201/00 , C09J7/20
Abstract: 本发明的保护膜形成用片在支撑片上具备保护膜形成层、且在该保护膜形成层上具备剥离膜而成，该支撑片的与具备该保护膜形成层的一侧相反侧的表面的表面粗糙度为0.5μm以下，基于JIS K7125标准测得的该支撑片的上述表面和该剥离膜的与具备上述保护膜形成层的一侧相反侧的表面之间的静摩擦力为29N以下。
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公开(公告)号：CN113444271B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110312454.2
申请日：2021-03-24
Applicant: 琳得科株式会社
Inventor： 小桥力也
Abstract: 通过将多片本实施方式的保护膜形成膜层叠，制作宽度4mm、厚度200±20μm的试验片，并保持所述试验片，以频率11Hz的拉伸模式、升温速度3℃/分钟的测定条件，测定所述试验片的储能模量，将所述试验片的温度为70℃时的储能模量设为E’70、将所述保护膜形成膜的波长380～780nm的光的反射率的最大值设为Rmax时，根据式：Y＝(log10E’70)2×Rmax算出的Y值为260以上，根据式：X＝(log10E’70)2算出的X值为33以上。
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公开(公告)号：CN116891612A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310080801.2
申请日：2023-02-08
Applicant: 琳得科株式会社
Inventor： 小桥力也
Abstract: 本发明提供一种保护膜形成膜，其利用下述式(1)算出的压缩变形率为5.0％以下。压缩变形率(％)＝{(初始位移‑压缩位移)/初始位移}×100…(1)式(1)中，“初始位移”是将所述保护膜形成膜夹持于粘弹性测定装置的压缩测定用夹具之间时，进行压缩前的所述压缩测定用夹具之间的间隙，“压缩位移”是此后使用所述粘弹性测定装置并以23℃、0.1MPa对所述保护膜形成膜进行600秒压缩后的所述压缩测定用夹具之间的间隙。
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