声表面波器件及声表面波振荡器

    公开(公告)号:CN101515792A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200910004257.3

    申请日:2009-02-18

    Inventor: 饭泽庆吾

    Abstract: 本发明提供一种声表面波器件,可以减小电极指的线宽变动时的频率变动量的差别,并且适合于批量生产。声表面波器件(10)具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案(14)的IDT(16),激励所述声表面波的阻带的上限模式,所述声表面波器件的特征在于,用于形成IDT(16)的压电基板(12)采用晶体基板,该晶体基板是以利用(φ,θ,ψ)表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成IDT(16)的梳齿状电极(18(18a、18b))的电极指之间形成电极指间槽(槽28),把由槽(28)夹持的晶体部分作为电极指座(30),电极指(22)位于电极指座(30)的上面。

    声表面波器件及声表面波振荡器

    公开(公告)号:CN102176664A

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN201110082396.5

    申请日:2009-02-18

    Inventor: 饭泽庆吾

    CPC classification number: H03H9/02551 H03H9/02622 H03H9/0542

    Abstract: 本发明提供声表面波器件及声表面波振荡器。用于形成IDT的压电基板采用石英基板,是以利用表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成IDT的梳齿状电极的电极指之间形成电极指间槽,把由电极指间槽夹持的晶体部分作为电极指座,电极指位于电极指座的上面,在石英基板的表面设置反射器,在声表面波的传播方向夹入IDT,在构成反射器的导体条之间形成导体条间槽,具有由导体条间槽夹持的导体条座和在其上面形成的导体条,在把IDT的阻带上端频率设为ft2、把反射器的阻带下端频率设为fr1、把反射器的阻带上端频率设为fr2时,满足fr1<ft2<fr2。

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