公开(公告)号：CN101488731A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200910001307.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/04

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN102064790A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201010597292.3

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H9/10 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN101488731B

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200910001307.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/04

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN102006024A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010597294.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/02

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。