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公开(公告)号：CN1991410A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610169979.0
申请日：2006-12-26
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山口晃司
CPC classification number: G02B1/115
Abstract: 本发明的目的在于提供一种宽频带抗反射膜，所述宽频带抗反射膜谋求抗反射膜的宽频带化，同时在量产光学元件时使得抗反射膜的透射率特性的偏移得到降低。本发明的宽频带抗反射膜6具有在基板7上层积有7层薄膜的结构。作为构成薄膜的薄膜材料，采用对基板7的附着性强的已知的MgF2作为第一层薄膜8的材料而进行成膜。进而，接着，对于宽频带抗反射膜6中的第二薄膜9到第七薄膜14，是从第一薄膜8的表面开始顺次以采用高折射率材料的薄膜和采用的薄膜交替地层积6层而进行成膜的，所述高折射率材料可为H4(La和TiO2的混合物)，所述低折射率材料为MgF2。
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