公开(公告)号：CN1821820A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610008251.X

申请日：2006-02-16

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 濑户口一稔 ,  吉田清和 ,  古里大喜

IPC: G02B5/20 ,  G11B7/16 ,  G03F7/00

CPC classification number: G11B7/139 ,  G02B5/005 ,  G11B7/22 ,  G11B2007/0006

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种在玻璃基板上形成多种光学薄膜以构成开口滤光器时，减少在光学薄膜间产生的相位阶梯差的开口滤光器。在开口滤光器(10)的玻璃基板(11)的A区(第一区)形成第一光学薄膜(12)，在玻璃基板(11)的B区(第二区)形成第二光学薄膜(13)。第一光学薄膜(12)和第二光学薄膜(13)是不同的薄膜结构，具有在A区成膜的第一光学薄膜(12)以大于等于95％的透射率使780nm、660nm和405nm波长的光线透过，在B区成膜的第二光学薄膜(13)以大于等于95％的透射率使660nm和405nm波长的光线透过而将780nm波长的光线抑制为小于等于4％的透射率的特性。另外，在第一光学薄膜(12)和第二光学薄膜(13)成膜后，进行刻蚀以消除相位阶梯差。