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公开(公告)号：CN110156339B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201910380973.5
申请日：2019-05-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置及方法，其中，装置包括：触发组件、夹具、杠杆式倾斜台、力传感器和控制器，其中，安装好工件后，向下进给触发组件，直至力传感器发出接触信号，实现工件表面的对准并得到此点的Z轴位置坐标，工件表面沿X方向选取两点A和B，分别通过对准过程测量得到Z轴位置坐标；回退触发组件，调节倾斜台使工件表面沿X方向倾斜一定角度，分别得到倾斜后A、B点的Z轴位置坐标；根据调平算法来计算得到调整目标值；调节倾斜台，使A、B点Z轴位置坐标到达目标值，即完成工件表面沿X方向的精确调平，同理，也可可以完成工件表面沿Y方向的精确调平，从而实现工件表面精确调平。
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公开(公告)号：CN110039140B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201910279202.7
申请日：2019-04-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置及方法。具体地，本发明提出了一种绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置，包括：加工液槽，所述加工液槽具有加工液入口、加工液出口以及第一连通口；连通器，所述连通器具有第二连通口，所述第二连通口和所述第一连通口相连，且所述连通器中具有液位计；供液箱，所述供液箱和所述加工液入口以及所述加工液出口相连；以及工具电极，所述工具电极设置在所述加工液槽的上方，且所述工具电极可相对所述加工液槽移动。由此，该装置操作简便，且工具电极和工件之间对准的精确度较高，易于调控，使用性能良好。
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公开(公告)号：CN110156339A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910380973.5
申请日：2019-05-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置及方法，其中，装置包括：触发组件、夹具、杠杆式倾斜台、力传感器和控制器，其中，安装好工件后，向下进给触发组件，直至力传感器发出接触信号，实现工件表面的对准并得到此点的Z轴位置坐标，工件表面沿X方向选取两点A和B，分别通过对准过程测量得到Z轴位置坐标；回退触发组件，调节倾斜台使工件表面沿X方向倾斜一定角度，分别得到倾斜后A、B点的Z轴位置坐标；根据调平算法来计算得到调整目标值；调节倾斜台，使A、B点Z轴位置坐标到达目标值，即完成工件表面沿X方向的精确调平，同理，也可可以完成工件表面沿Y方向的精确调平，从而实现工件表面精确调平。
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公开(公告)号：CN110340466B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201910586097.1
申请日：2019-07-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种工具电极端部多棱角放电约束的放电辅助化学加工工艺，其中，方法包括：在接收到加工指令时，调整电火花反拷加工装置中反拷面和反拷片的位置；根据反拷面的位置移动原始工具电极的端部，以使原始工具电极的端部位于反拷面的正上方；根据竖直坐标确定原始工具电极的竖直移动距离；通过电火花反拷加工来修平端部；控制修平后的端部移动至反拷片的一侧，控制预设的电参数，根据加工工艺参数控制原始工具电极向反拷片进给，通过电火花反拷加工，实现对修平后原始工具电极端部的通槽反拷加工，获取具有多瓣多棱角端部的目标工具电极。本发明可实现工具电极端部放电约束和电解液更新改善，可提高能量利用率、改善加工效率和精度。
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公开(公告)号：CN110340466A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910586097.1
申请日：2019-07-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种工具电极端部多棱角放电约束的放电辅助化学加工工艺，其中，方法包括：在接收到加工指令时，调整电火花反拷加工装置中反拷面和反拷片的位置；根据反拷面的位置移动原始工具电极的端部，以使原始工具电极的端部位于反拷面的正上方；根据竖直坐标确定原始工具电极的竖直移动距离；通过电火花反拷加工来修平端部；控制修平后的端部移动至反拷片的一侧，控制预设的电参数，根据加工工艺参数控制原始工具电极向反拷片进给，通过电火花反拷加工，实现对修平后原始工具电极端部的通槽反拷加工，获取具有多瓣多棱角端部的目标工具电极。本发明可实现工具电极端部放电约束和电解液更新改善，可提高能量利用率、改善加工效率和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109773290A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910128208.4
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法，其中，对准系统包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体和导电微球的载体；绝缘液体用于微细工具电极粘附导电微球并实现自动对准中心；导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通导电液体和微细工具电极产生电接触信号；导电液体连接电源一极，并与导电微球、微细工具电极产生电接触信号；电接触反馈系统用于检测到电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令。该对准系统可实现非平整非导电表面高度的精确测量，而且测量系统成本较低，简单易实现。
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公开(公告)号：CN109865904B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201910103034.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置，其中，该方法包括：将微细金属探针插入待操作液体中，通过控制微细金属探针的水平方向运动，利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上；通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置；通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体，将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴，具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
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公开(公告)号：CN109773290B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201910128208.4
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法，其中，对准系统包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体和导电微球的载体；绝缘液体用于微细工具电极粘附导电微球并实现自动对准中心；导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通导电液体和微细工具电极产生电接触信号；导电液体连接电源一极，并与导电微球、微细工具电极产生电接触信号；电接触反馈系统用于检测到电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令。该对准系统可实现非平整非导电表面高度的精确测量，而且测量系统成本较低，简单易实现。
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公开(公告)号：CN110039140A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910279202.7
申请日：2019-04-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置及方法。具体地，本发明提出了一种绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置，包括：加工液槽，所述加工液槽具有加工液入口、加工液出口以及第一连通口；连通器，所述连通器具有第二连通口，所述第二连通口和所述第一连通口相连，且所述连通器中具有液位计；供液箱，所述供液箱和所述加工液入口以及所述加工液出口相连；以及工具电极，所述工具电极设置在所述加工液槽的上方，且所述工具电极可相对所述加工液槽移动。由此，该装置操作简便，且工具电极和工件之间对准的精确度较高，易于调控，使用性能良好。
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公开(公告)号：CN109865904A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910103034.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置，其中，该方法包括：将微细金属探针插入待操作液体中，通过控制微细金属探针的水平方向运动，利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上；通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置；通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体，将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴，具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
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