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公开(公告)号：CN111337521B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201811450175.7
申请日：2018-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/02 , G01N23/20025 , H01J37/20
Abstract: 本发明公开了一种多自由度样品杆，包括外壳和转轴，外壳与转轴之间设有骨架，骨架与外壳、转轴同轴。在装配时，使转轴与骨架同轴，再将转轴‑骨架装入外壳内，使转轴、骨架和外壳同轴，提高安装精度；另外，骨架还为转轴驱动组件提供安装位置，骨架还起到将转轴和导线分离、避免导线干扰转轴运动的作用。
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公开(公告)号：CN111257354B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201811450173.8
申请日：2018-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N23/02
Abstract: 本发明公开了多自由度样品杆，包括骨架和转轴，转轴末端设有磁铁，骨架设有引出电路板，骨架开有缺口，引出电路板包括弯折部，弯折部位于缺口内，磁场传感器固定于弯折部。本发明能够检测转轴位置信息，转轴旋转及前后运动时磁场随之变化，磁场传感器测得磁场，经求解能得出转轴的位置信息，磁场传感器与引出电路板焊锡连接不仅能固定磁场传感器，而且能对引出电路板上的其中一对引脚作短接，减少需要连接的导线个数；引出电路板包括平面部和弯折部，平面部和弯折部垂直铺设于骨架表面，磁场传感器固定于弯折部，使用弯折电路板，占用面积小，容易拆卸。
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公开(公告)号：CN108809143B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201810390318.3
申请日：2018-04-27
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明公开了一种压电堆垛驱动的纳米钳子，包括基座，基座两端延伸出第一臂和第二臂，第一臂延伸出第一拉伸部，第二臂延伸出第二拉伸部，第一拉伸部与第二拉伸部之间具有容纳样本的开口，第一臂与第二臂之间设有空腔，空腔设有将空腔分隔成两部分的分隔板，分隔板与第一臂之间设有提供驱动力的压电堆垛，分隔板与第二臂之间设有提供驱动力的压电堆垛。本发明通过控制压电堆垛加载的电压，实现对样品拉伸长度的控制，能够满足样品拉伸的不同要求，而且纳米钳子小型化，保证了纳米操纵系统的性能，提高了样品的拉伸精度。
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公开(公告)号：CN108155078A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201611109132.3
申请日：2016-12-06
Applicant: 浙江大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 能对样品进行360°旋转的透射电镜样品杆，样品杆上连接有样品夹，样品装夹于样品夹上；该样品杆包括中空的外壳和安装于外壳内的转轴，转轴和外壳之间设置一对轴承，转轴上设有驱动转轴自转的旋转驱动机构；转轴由刚性杆和压电陶瓷管组成，轴承设置于刚性杆上，压电陶瓷管沿X轴、Y轴和/或Z轴伸缩和以X轴和/或Y轴为中心摆动，压电陶瓷管一端与刚性杆固定；压电陶瓷管的另一端固定有硬质小球；样品夹通过柔性丝爪悬挂于硬质小球上，柔性丝爪沿样品夹呈圆周阵列，柔性丝爪一端与样品夹固定、另一端形成收缩口悬挂于硬质小球。本发明具有无需改变现有透射电镜的结构，即可实现样品的360°旋转的优点。
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公开(公告)号：CN111261480B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010077755.7
申请日：2020-01-31
Applicant: 浙江大学
Abstract: 具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，包括杆身，设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器；纳米驱动器头端安装倾转台，倾转台具有与纳米驱动器固定的基座，基座上设有弹簧片和动子，动子预紧于弹簧片与基座之间，动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触，动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件，基座和动子之间设有第二压电驱动件；基座上设有圆弧导轨，动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件，动子上设有样品安装部位。本发明具有兼具原位测试功能和双轴倾转功能的优点。
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公开(公告)号：CN108831991B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201810390325.3
申请日：2018-04-27
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L41/29
Abstract: 本发明公开了一种四象限压电陶瓷管中心电极引出方法，包括以下步骤：将压电陶瓷管切割成纳米操纵系统所需的尺寸，获得切割后的压电陶瓷管；根据切割后的压电陶瓷管尺寸，将切割后的压电陶瓷管放置于与压电陶瓷管适配的导电基座上；在压电陶瓷管中心电极与导电基座的交接处滴加导电胶水，然后固化导电胶水；在压电陶瓷管外壁与导电基座的交接处滴加结构胶水，然后固化结构胶水。本发明通过导电胶水将压电陶瓷管中心电极与导电基座连接，从而引出中心电极，操作简单，不会损坏压电陶瓷管元件；且适用于内径较小的压电陶瓷管中心电极的引出。
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公开(公告)号：CN111261479A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201811450206.9
申请日：2018-11-30
Applicant: 浙江大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明公开了一种具有静电导出作用的多自由度样品杆，样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括压件组件，压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件，纳米驱动器设有装载样品的套管，套管上装有锁紧样品的预紧螺钉，其特征在于：纳米驱动器的尾端设有静电导出件，预紧螺钉和静电导出件能够导电，纳米驱动器上设置有连通预紧螺钉和静电导出件的电通路，静电导出件与导线连接。本发明样品的待观测区域上的静电通过样品传递到预紧螺钉，预紧螺钉经纳米驱动器上的电通路到达静电导出件，静电导出件上的电流经导线向外引出，避免电子束照射到样品时样品的待观测区域上产生静电场而影响电子束成像。
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