公开(公告)号：CN102315830A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110104062.3

申请日：2011-04-25

Applicant: 浙江大学

Inventor： 丁扣宝 ,  刘世洁 ,  何兴理 ,  骆季奎

IPC: H03H3/02

Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：准备硅衬底，清洗、烘干；在硅衬底上淀积一层低应力Si3N4薄膜，涂抹光刻胶，光刻窗口图形并刻蚀掉窗口中的Si3N4；采用刻蚀窗口形成通孔并清除残余的光刻胶和Si3N4；使用牺牲材料填充通孔并抛光表面；于经抛光的表面上依次沉积下电极、压电薄膜、上电极的结构；释放牺牲层并干燥，制备薄膜体声波谐振器。本发明方法工艺简单，在衬底上制备出结构稳定、机械强度高及Q值高的薄膜体声波谐振器。

公开(公告)号：CN104056708B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410241881.6

申请日：2014-05-30

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王文博 ,  何兴理 ,  周剑 ,  轩伟鹏 ,  陈金凯 ,  骆季奎

IPC: B02C19/18

Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波的细胞粉碎器，包括声表面波发生模块，所述声表面发生模块包括压电衬底以及设置于压电衬底上的若干叉指换能器，在压电衬底上还设有与叉指换能器位于同一平面上且与叉指换能器布置方向配合的微流体破碎腔，所述微流体破碎腔包括围墙结构以及设置于围墙结构内用于与液滴进行碰撞的微纳柱体。本发明利用声表面波的声致微流效应，带动待检测的试剂高速旋转，采用微纳加工工艺制作，大幅度降低了器件的体积，克服了传统粉碎器件液体加速部件体积过大难以集成的缺点；同时与现有细胞破碎器件相比，本发明采用全固定结构，避免了运动部件的使用，极大地提高了器件的可靠性。

公开(公告)号：CN104056708A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201410241881.6

申请日：2014-05-30

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王文博 ,  何兴理 ,  周剑 ,  轩伟鹏 ,  陈金凯 ,  骆季奎

IPC: B02C19/18

Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波的细胞粉碎器，包括声表面波发生模块，所述声表面发生模块包括压电衬底以及设置于压电衬底上的若干叉指换能器，在压电衬底上还设有与叉指换能器位于同一平面上且与叉指换能器布置方向配合的微流体破碎腔，所述微流体破碎腔包括围墙结构以及设置于围墙结构内用于与液滴进行碰撞的微纳柱体。本发明利用声表面波的声致微流效应，带动待检测的试剂高速旋转，采用微纳加工工艺制作，大幅度降低了器件的体积，克服了传统粉碎器件液体加速部件体积过大难以集成的缺点；同时与现有细胞破碎器件相比，本发明采用全固定结构，避免了运动部件的使用，极大地提高了器件的可靠性。