公开(公告)号：CN108091571A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711248380.0

申请日：2017-12-01

Applicant: 河海大学常州校区

Inventor： 孙洪文 ,  李嘉成 ,  魏万通 ,  殷敏琪 ,  王海滨 ,  金鑫

IPC: H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种减少晶体管制作步骤的方法，包括：步骤1：准备初始晶体管，作为复制的母版；步骤2:复制母版结构得到复制模具；步骤3：制备模压衬底，所述模压衬底从上至下依次设置胶体、多晶硅、氧化硅、硅和衬底；步骤4：将步骤3制备的模压衬底根据步骤2制得的复制模具进行模压得到胶体的三维结构；步骤5：通过反应离子刻蚀对胶体的三维结构进行图案转移；步骤6：去胶并掺杂得到晶体管。本发明提供的一种减少晶体管制作步骤的方法，使得现有技术下制备晶体管的步骤大幅度减少，有利于提高工艺效率，降低工艺成本。

公开(公告)号：CN108017881B

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201711171640.9

申请日：2017-11-22

Applicant: 河海大学常州校区

Inventor： 孙洪文 ,  魏万通 ,  李嘉成 ,  殷敏琪 ,  王海滨 ,  金鑫

IPC: C08L63/00 ,  C08L33/08 ,  C08L29/10 ,  C08K3/08 ,  C08F120/10 ,  C08F116/18

Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜探针及其制备方法，所述探针为圆锥体结构，且所述探针由复合材料制得，所述复合材料的原料组分及各组分的质量份如下：对紫外光敏感的聚合物：80份~90份；金颗粒：5份~10份；镍颗粒：5份~10份。本发明提供的一种原子力显微镜探针及其制备方法，既可以增加探针韧性，又可以保证其硬度，从而延长探针寿命。同时该探针具有高深宽比，可以探测相应的高深宽比沟槽。

公开(公告)号：CN108017881A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201711171640.9

申请日：2017-11-22

Applicant: 河海大学常州校区

Inventor： 孙洪文 ,  魏万通 ,  李嘉成 ,  殷敏琪 ,  王海滨 ,  金鑫

IPC: C08L63/00 ,  C08L33/08 ,  C08L29/10 ,  C08K3/08 ,  C08F120/10 ,  C08F116/18

Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜探针及其制备方法，所述探针为圆锥体结构，且所述探针由复合材料制得，所述复合材料的原料组分及各组分的质量份如下：对紫外光敏感的聚合物：80份~90份；金颗粒：5份~10份；镍颗粒：5份~10份。本发明提供的一种原子力显微镜探针及其制备方法，既可以增加探针韧性，又可以保证其硬度，从而延长探针寿命。同时该探针具有高深宽比，可以探测相应的高深宽比沟槽。