等离子体射流离子源、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN119255463A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202411280017.7

    申请日:2024-09-12

    Abstract: 本发明提供了一种等离子体射流离子源、制备方法及应用,该等离子体射流离子源,包括:安装体,安装体为一体成型,安装体具有金属容纳腔、正极安装位、第一注入孔和载气流道;金属容纳腔为环状结构,位于安装体内形成负极安装位,与正极安装位相对设置,且二者之间具有预设间距;正电极,固定于正极安装位;负电极,填充于金属容纳腔内,负电极的材料的熔点低于安装体的材料的熔点。上述的等离子体射流离子源中,由于安装体为一体成型的结构,金属容纳腔和正极安装位的预设间距,可以精确的控制在1mm以内。正电极固定在正极安装位上,因此负电极和正电极的电极间距即为预设间距,达到了精确控制电极间距,准确控制放电间距的目的。

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