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公开(公告)号：CN106011772B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201610194309.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。
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公开(公告)号：CN106011772A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610194309.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/042 , C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。
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