公开(公告)号：CN103155597B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201180048454.0

申请日：2011-10-13

Applicant: 株式会社日立医疗器械

Inventor： 竹崎泰一 ,  町田俊太郎

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/24

CPC classification number: H02N1/08 ,  A61B8/4483 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/0292 ,  G01N29/2406 ,  H04R19/04

Abstract: 提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T)，其实现高发送声压和高接收灵敏度，且使长期驱动下的可靠性提高。其具备：下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204)，其中，具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203)，所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空，从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上，各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。

公开(公告)号：CN103155597A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180048454.0

申请日：2011-10-13

Applicant: 株式会社日立医疗器械

Inventor： 竹崎泰一 ,  町田俊太郎

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/24

CPC classification number: H02N1/08 ,  A61B8/4483 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/0292 ,  G01N29/2406 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T)，其实现高发送声压和高接收灵敏度，且使长期驱动下的可靠性提高。其具备：下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204)，其中，具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203)，所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空，从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上，各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。