公开(公告)号：CN1132407A

公开(公告)日：1996-10-02

申请号：CN95118750.3

申请日：1995-11-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小藤直行 ,  新井真 ,  辻本和典 ,  水谷巽 ,  铃木敬三 ,  水石贤一

IPC: H01J37/305 ,  H01L21/3065 ,  C30B33/12

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J37/32706

Abstract: 为了抑制由于电子遮蔽现象而引起的开槽、电荷聚集损伤、副沟和弯弓形，提供一种占空比等于或低于5％和重复频率等于或高于400KHz脉冲电压。因此，在衬底偏置中出现一个用于加速电子的周期，从而使电子遮蔽现象不出现。

公开(公告)号：CN1069439C

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN95118750.3

申请日：1995-11-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小藤直行 ,  新井真 ,  辻本和典 ,  水谷巽 ,  铃木敬三 ,  水石贤一

IPC: H01J37/305 ,  H01L21/3065 ,  C30B33/12

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J37/32706

Abstract: 为了抑制由于电子遮蔽现象而引起的开槽、电荷聚集损伤、副沟和弯弓形，提供一种占空比等于或低于5%和重复频率等于或高于400KHz脉冲电压。因此，在衬底偏置中出现一个用于加速电子的周期，从而使电子遮蔽现象不出现。