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公开(公告)号:CN114096825B
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202080050377.1
申请日:2020-06-17
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01N1/02
Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。
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公开(公告)号:CN111902710B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN201980021602.6
申请日:2019-03-01
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部,该微粒分析装置的特征在于,具有:旋流集尘机(14);一级过滤器(16),其与旋流集尘机(14)的下游连接,并被加热;气体分析装置(31),其与一级过滤器(16)连接;气体配管部,其将旋流集尘机(14)与气体分析装置(31)连接,并设置有一级过滤器(16);以及清洗气体导入装置(21),其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘机(14)中的至少一方导入清洗气体,在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时,与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。
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公开(公告)号:CN114096825A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202080050377.1
申请日:2020-06-17
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01N1/02
Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。
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公开(公告)号:CN111902710A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN201980021602.6
申请日:2019-03-01
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部,该微粒分析装置的特征在于,具有:旋流集尘装置(14);一级过滤器(16),其与旋流集尘装置(14)的下游连接,并被加热;气体分析装置(31),其与一级过滤器(16)连接;气体配管部,其将旋流集尘装置(14)与气体分析装置(31)连接,并设置有一级过滤器(16);以及清洗气体导入装置(21),其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘装置(14)中的至少一方导入清洗气体,在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时,与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。
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