公开(公告)号：CN105280489A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510102366.4

申请日：2015-03-09

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 佐藤阳介 ,  宇井明生 ,  林久贵

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32577 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32706 ,  H01J37/32715 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/3341 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明涉及等离子体处理装置和等离子处理方法，该等离子处理装置具备有：腔室、导入部、基板电极、高频电源、低频电源和切换机构。导入部向腔室内导入处理气体。基板电极配置在腔室内，直接或间接载置有基板，具有交互配置的第1、第2电极元件群。高频电源输出40MHz以上的高频电压，用于使处理气体离子化，产生等离子体。低频电源输出20MHz以下的低频电压，用于从等离子体中引入离子。切换机构向所述第1、第2电极元件群交互施加所述低频电压。

公开(公告)号：CN115699374A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180036550.7

申请日：2021-07-15

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝能源系统株式会社

Inventor： 松冈敬 ,  佐藤阳介 ,  石井惠奈 ,  吉永典裕 ,  山下恭平

IPC: H01M8/04 ,  H01M8/04029 ,  H01M8/0432 ,  H01M8/04701 ,  H01M8/04746 ,  H01M8/10

Abstract: 本发明提供能够容易且高效地实施冷却水的冻结防止的燃料电池系统。实施方式的燃料电池系统包含燃料电池部，并且具备：冷却水循环系统，供冷却水经由燃料电池部循环；热交换系统，用于进行海水与在冷却水循环系统中循环的冷却水之间的热交换；以及控制部，用于控制热交换。在与冷却水循环系统有关的温度为第一阈值以下、且在热交换系统中进行热交换而使用的海水的温度为比第一阈值高的第二阈值以上的情况下，控制部通过热交换对冷却水进行加热。

公开(公告)号：CN104941398A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510092944.0

申请日：2015-03-02

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 宇井明生 ,  佐藤阳介 ,  秋田征人 ,  真田恭

IPC: B01D53/32 ,  B01D46/00

CPC classification number: A61L9/16 ,  A61L9/22 ,  A61L2209/212 ,  B01D53/323 ,  B01D53/8631 ,  B01D53/869 ,  B01D2251/104 ,  B01D2255/802 ,  B01D2257/406 ,  B01D2257/702 ,  B01D2257/708 ,  B01D2257/90

Abstract: 本发明公开了一种气体处理装置。一个实施例的一种气体处理装置包括：与彼此相面对的第一和第二电介质基板；分别布置在电介质基板的一对相面对的主表面上的第一和第二放电电极；分别布置在电介质基板的所述主表面的相反侧的一对主表面上的第一和第二地电极；气体流路，用于在放电电极之间供应要处理的气体；AC电源，用于通过在放电电极与地电极之间施加AC电压来生成第一和第二等离子诱发流；以及从放电电极起在等离子诱发流的下游在电介质基板之间布置的区域，并且电介质基板之间的间隙是等离子诱发流的厚度之和的1.3倍以下。