公开(公告)号：CN107430047B

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201680016444.1

申请日：2016-03-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 村岛祐二 ,  中谷将也 ,  中尾厚夫

IPC: G01N1/22

Abstract: 吸附泵具有壳体、可动部以及吸附部。在壳体上设置有试样的流入口和排出口。可动部的至少一部分配置于壳体的内部。吸附部设置于壳体的内部。

公开(公告)号：CN100530735C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200680004807.6

申请日：2006-02-15

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中村友骑 ,  村岛祐二 ,  安见正博 ,  小牧一树

IPC: H01L41/22 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/257 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。

公开(公告)号：CN107430047A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680016444.1

申请日：2016-03-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 村岛祐二 ,  中谷将也 ,  中尾厚夫

IPC: G01N1/22

Abstract: 吸附泵具有壳体、可动部以及吸附部。在壳体上设置有试样的流入口和排出口。可动部的至少一部分配置于壳体的内部。吸附部设置于壳体的内部。

公开(公告)号：CN101120455A

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200680004807.6

申请日：2006-02-15

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中村友骑 ,  村岛祐二 ,  安见正博 ,  小牧一树

IPC: H01L41/22 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/257 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。