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公开(公告)号:CN111937261A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201980020756.3
申请日:2019-01-28
Applicant: 松下半导体解决方案株式会社
IPC: H01S5/343
Abstract: 半导体发光元件(100)具备:GaN衬底(11);被配置在GaN衬底(11)的上方且包括第1导电型的氮化物系半导体的第1半导体层(12);被配置在第1半导体层(12)的上方且包括含有Ga或In的氮化物系半导体的活性层(15);被配置在活性层(15)的上方且包括至少含有Al的氮化物系半导体的电子阻挡层(18);以及被配置在电子阻挡层(18)的上方且包括与第1导电型不同的第2导电型的氮化物系半导体的第2半导体层(19),电子阻挡层(18)具有:Al组成比以第1变化率来变化的第1区域;以及被配置在第1区域和第2半导体层(19)之间,Al组成比以第2变化率来变化的第2区域,在第1区域以及第2区域中,Al组成比针对从活性层(15)朝向第2半导体层(19)的方向为单调增加,第2变化率比第1变化率大。