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公开(公告)号：CN102377409A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110206417.X
申请日：2011-07-18
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/1035 , H03H9/0595
Abstract: 本发明涉及一种压电装置及其制造方法，以提供水晶侧面电极和基板侧面电极不断线而可靠地进行电连接的压电装置及其方法为目的。压电装置(100)具备：具有压电振动片(21)和外框(25)且形成有第1侧槽(204)的压电框架(20)；通过粘接剂(13)与外框接合且形成有第2侧槽(124)的基板部(12)；以及盖部(11)。压电框架具有第2引出电极和形成在第1侧槽上的第1侧面电极。基板部具有形成在第2侧槽上的第2侧面电极和外部电极。在第1及第2侧槽上形成有电连接第1侧面电极或第1引出电极和第2侧面电极的一对连接电极(14)。
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公开(公告)号：CN103490742A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310223723.3
申请日：2013-06-06
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , H01L41/053 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种抑制了晶体阻抗（CI）的上升的压电振动片及压电装置。压电振动片（130）包括：振动部（131），以预定的振动频率而振动，且在两主面具有激振电极（134a、134b），且以预定的厚度而形成；框部（132），包围振动部的周围；及连结部（133），连结振动部及框部；且振动部的侧面的至少一部分是：以振动部的厚度随着朝向振动部的外周而变薄的方式，而形成为楔状；且形成从各激振电极分别经由连结部而被引出至框部的引出电极（135a、135b）；一个引出电极是：经由振动部的形成为楔状的侧面，而从一个主面被引出至另一个主面。
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公开(公告)号：CN103457566A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310209387.7
申请日：2013-05-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H01L41/0475 , H03H9/0595 , H03H9/1035
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电装置。压电振动片包括：以规定的振动频率而振动的振动部；包围振动部的周围的框部；以及连结振动部与框部的1根连结部。从形成在一个主面的激振电极，第1引出电极经由连结部的一个主面而引出至框部，从形成在另一主面的激振电极，第2引出电极经由连结部的另一主面、连结部的侧面、以及连结部的一个主面而引出至框部。从一个主面的连结部形成到框部的第1引出电极的第2引出电极侧的边即第1边、与从一个主面的连结部形成到框部的第2引出电极的第1引出电极侧的边即第2边的距离，在框部中大于连结部。
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公开(公告)号：CN103378818A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310143652.6
申请日：2013-04-23
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , H01L41/053 , H01L41/29 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/1035
Abstract: 本发明提供一种压电装置以及压电装置的制造方法。压电装置是表面安装型的压电装置，包括：压电振动片，包含以规定的振动频率而振动的振动部；基底板，在一方的主面形成一对安装端子，且在另一方的主面载置压电振动片，所述安装端子包含通过溅镀或者真空蒸镀而形成的金属膜、及形成于金属膜的表面的无电解镀敷膜，且安装端子被用于压电装置的安装；以及盖板，在一方的主面形成金属膜、以及在金属膜的表面通过无电解镀敷而形成的无电解镀敷膜，并以另一方的主面密封振动部。基底板的一方的主面形成的无电解镀敷膜、与盖板的一方的主面形成的无电解镀敷膜是：形成为彼此相同的形状、相同的面积。
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公开(公告)号：CN102594281A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110425167.9
申请日：2011-12-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/1035 , H03H3/04 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供以振动部变宽的方式形成贯通槽的AT切割的水晶振动片、水晶装置及水晶振动片的制造方法。AT切割的水晶振动片(110)，将长边方向规定为X轴、将厚度方向规定为Y’轴、将短边方向规定为Z’轴，具备：利用电压的施加而振动的水晶振动部(111)；以包围水晶振动部的方式形成的框部(112)；以及形成在水晶振动部与框部之间且在Y’轴方向贯通的贯通槽(113)；并且贯通槽包括形成在向X轴方向延伸的水晶振动部的+Z’轴方向上的第一贯通槽(113a)和形成在-Z’轴方向上的第二贯通槽(113b)，第一贯通槽与第二贯通槽的Z’轴方向的宽度不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102594280B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110424495.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/022
Abstract: 本发明涉及一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极。该水晶装置包括：具有水晶振动部、框部及连结部的AT切割的水晶框架；以及在第一边侧及第二边侧具有外部电极的底部；在第三边上形成有第一平面、第二平面、第一斜面或第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部，在水晶框架的框部上具备：第一引出电极、从一对励振电极的另一个经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接的第二引出电极。
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公开(公告)号：CN103457565A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310208437.X
申请日：2013-05-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/053 , H03H9/1021 , H03H2003/022
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电装置，确保耐冲击性、抑制振动特性的变动。压电振动片（130）具有：矩形形状的振动部（131），以规定的振动频率而振动；框部（132），包围振动部的周围，且具有与振动部面对的内部侧面（138）；以及连结部（133），连结振动部与框部，且连结部连结于与振动部的短边面对的内部侧面，向振动部侧突出的突起（137）是形成于连结部所连结的内部侧面。
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公开(公告)号：CN103312289A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310080497.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G03F7/40 , H03H9/1014 , H03H9/1021 , H03H2003/022
Abstract: 本发明提供一种晶体装置及晶体装置的制造方法，在从基底板的中心算起的相等的距离处形成城堡形结构。晶体装置的制造方法包括：耐蚀膜形成工序，形成耐蚀膜；曝光工序，在耐蚀膜上形成光致抗蚀剂并进行曝光；耐蚀膜蚀刻工序，对耐蚀膜进行蚀刻；及湿式蚀刻工序，对贯穿孔进行湿式蚀刻。贯穿孔的+X轴侧的剖面具有：第1面侧的第1斜面、第2面侧的第2斜面、及第1斜面与第2斜面交叉的第1顶部。-X轴侧的剖面具有：第1面侧的第3斜面、第2面侧的第4斜面、及连结第3斜面与第4斜面的第2顶部，在曝光工序中，以从基底板的X轴方向的中心直至第1顶部为止及直至第2顶部为止的距离相同的方式，来对第1面及第2面进行曝光。
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公开(公告)号：CN102904542A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210228562.2
申请日：2012-07-02
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/131 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
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公开(公告)号：CN102594280A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110424495.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/022
Abstract: 本发明涉及一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极。该水晶装置包括：具有水晶振动部、框部及连结部的AT切割的水晶框架；以及在第一边侧及第二边侧具有外部电极的底部；在第三边上形成有第一平面、第二平面、第一斜面或第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部，在水晶框架的框部上具备：第一引出电极、从一对励振电极的另一个经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接的第二引出电极。
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