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发明公开
等离子体源审中-公开

公开(公告)号：CN118712041A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202311167357.4

申请日：2023-09-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 渡边穗香 , 藤田秀树 , 平井裕也

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体源，能够调整通过腔室内的磁通的方向。等离子体源具备：腔室(10)，生成等离子体；阴极(20)，设置于腔室(10)，发射电子；以及电磁铁(30)，设置在腔室(10)的周围，使磁通通过腔室(10)内，电磁铁(30)具有线圈(C)、以及使通过对线圈(C)通电而产生的磁通到达腔室(10)内的多个磁通通过部件(30x)，至少一个磁通通过部件(30x)的使用方式能够变更。

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