公开(公告)号：CN1819209A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610051393.4

申请日：2006-01-04

Applicant: 尔必达存储器株式会社

Inventor： 星野晶

IPC: H01L27/108 ,  H01L27/102 ,  H01L27/10 ,  H01L27/00 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/82 ,  H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L28/84 ,  H01L27/10817 ,  H01L27/10852 ,  H01L28/90

Abstract: 一种形成在电容器孔内的层叠电容器包括下电极、电容器绝缘膜和上电极。下电极包括形成在下部绝缘膜上的多个岛、以及覆盖下部绝缘膜上的各岛的金属膜。下电极的较大表面增加了层叠电容器的电容。