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公开(公告)号:CN100595930C
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200610149326.6
申请日:2006-11-20
Applicant: 尔必达存储器株式会社
CPC classification number: H01L45/143 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/148 , H01L45/1675
Abstract: 一种非易失半导体存储器件包括:多个下电极,其以矩阵的方式布置;多个记录层图案,其每个布置在下电极上,并且包含相变材料;以及层间绝缘膜,其提供在下电极和记录层图案之间,并且具有多个孔,用于暴露下电极的一部分。下电极和记录层图案在每个孔中连接。孔在X方向上相互平行地延伸。记录层图案在Y方向上相互平行地延伸。这样一来,与形成独立的孔相比,能够以更高的准确度形成孔。因此,能够获得高热效率,同时有效防止不良连接等的发生。
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公开(公告)号:CN1967861A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200610149326.6
申请日:2006-11-20
Applicant: 尔必达存储器株式会社
CPC classification number: H01L45/143 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/148 , H01L45/1675
Abstract: 一种非易失半导体存储器件包括:多个下电极,其以矩阵的方式布置;多个记录层图案,其每个布置在下电极上,并且包含相变材料;以及层间绝缘膜,其提供在下电极和记录层图案之间,并且具有多个孔,用于暴露下电极的一部分。下电极和记录层图案在每个孔中连接。孔在X方向上相互平行地延伸。记录层图案在Y方向上相互平行地延伸。这样一来,与形成独立的孔相比,能够以更高的准确度形成孔。因此,能够获得高热效率,同时有效防止不良连接等的发生。
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