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公开(公告)号：CN119560363A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411848997.6
申请日：2024-12-16
Applicant: 季华实验室
IPC: H01J37/32
Abstract: 本申请属于等离子加工设备领域，公开了一种远程等离子体加工设备，包括远程等离子体源、反应腔和载物台，所述反应腔下部填充有电解质溶液，所述载物台的下部浸泡在所述电解质溶液中，反应腔内设置有阳极金属件，所述阳极金属件的活泼性比所述反应腔的内壁材质以及所述载物台的材质的活泼性高，且阳极金属件6部分地伸入电解质溶液4中；通过在反应腔下部填充电解质溶液并设置活泼性较高的阳极金属件，可以有效吸收和消耗氧离子，从而抑制反应腔和载物台的氧化反应，延长反应腔和载物台的使用寿命。
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