芯片拾取装置及其制造方法以及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN1329969C

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN03103138.2

    申请日:2003-01-30

    Inventor: 孝桥生郎

    Abstract: 公开了一种芯片拾取装置,不必另外调节针的顶起行程和载物台的升降位置,就能容易地使芯片从纸上剥离。使针(17)从针孔(16)突出,用针(17)通过纸(101)顶起芯片(102),纸(101)在吸引通气孔(15)附近被吸附,但纸(101)在针孔(16)附近不被吸附,所以纸(101)只在针孔(16)附近拉伸,并从载物台(14)离开,芯片(102)从纸(101)剥离。因此,能够使针(17)的顶起行程一定,并且不必变更或调节载物台(14)的位置。另外,空气不会吸引到针孔(16),所以芯片(102)容易从纸(101)剥离。

    芯片拾取装置及其制造方法以及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN1437234A

    公开(公告)日:2003-08-20

    申请号:CN03103138.2

    申请日:2003-01-30

    Inventor: 孝桥生郎

    Abstract: 公开了一种芯片拾取装置,不必另外调节针的顶起行程和载物台的升降位置,就能容易地使芯片从纸上剥离。使针(17)从针孔(16)突出,用针(17)通过纸(101)顶起芯片(102),纸(101)在吸引通气孔(15)附近被吸附,但纸(101)在针孔(16)附近不被吸附,所以纸(101)只在针孔(16)附近拉伸,并从载物台(14)离开,芯片(102)从纸(101)剥离。因此,能够使针(17)的顶起行程一定,并且不必变更或调节载物台(14)的位置。另外,空气不会吸引到针孔(16),所以芯片(102)容易从纸(101)剥离。

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