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公开(公告)号：CN116669890A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180088721.0
申请日：2021-02-02
Applicant: 国立大学法人九州大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: B23K26/03
Abstract: 机器学习方法包含以下步骤：取得根据被照射到第1区域的照明光的反射光生成的图像数据，该第1区域是基板上的半导体膜的利用脉冲激光被进行激光退火后的区域；取得第1区域中的半导体特性的计测数据；生成将图像数据作为输入、将计测数据作为输出而对应起来的训练数据；以及根据训练数据进行使用神经网络的机器学习，生成学习完毕模型。
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