公开(公告)号：CN204479018U

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201520223545.9

申请日：2015-04-14

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  王伟佳 ,  马文书 ,  周坤 ,  田明明 ,  沈涛

IPC: G01B9/021 ,  G01B11/30

Abstract: 基于子孔径拼接法与计算全息法的非球面干涉检测装置，涉及利用子孔径拼接法与计算全息法获取非球面光学元件表面粗糙度的装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有干涉法测量非球面光学元件时精度较低、速度较慢、耗时长的问题。本实用新型包括He-Ne激光器、第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜、准直器、扩束镜、第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜、分光镜、非球面光学元件、步进电机、起偏器、液晶光阀、计算机、液晶光阀驱动电路、检偏器和CCD；非球面光学元件的下方架设有步进电机，通过步进电机的转动完成对非球面光学元件口径的全部测量。本实用新型用于检测非球面光学元件的表面粗糙度。

公开(公告)号：CN204228123U

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201420786016.5

申请日：2014-12-12

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 于雪莲 ,  王伟佳 ,  周坤 ,  田明明 ,  马文书 ,  沈涛

IPC: G01B11/30 ,  G01B11/26

Abstract: 基于偏振光散射法检测工件表面综合性能参数的装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有加工工件表面性能检测装置只能检测单一特征参数，不能准确、快速、简便地检测综合性能参数的问题。本实用新型激光入射至分光镜分光，水平激光通过扩束器、起偏器和反光镜入射至工件表面，反射后入射至电荷耦合阵列检测器；垂直激光通过扩束器、起偏器和分光镜分为水平激光和垂直激光；水平激光通过透镜入射至电荷耦合阵列检测器；垂直激光通过偏振分光镜分为水平S光和垂直P光；水平S光通过反光镜和透镜入射至工件表面，反射后入射至光电二极管阵列；垂直P光通过透镜入射至工件表面，反射后入射至光电二极管阵列。用于检测加工工件表面综合特征参数。