公开(公告)号：CN117073721A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311036457.3

申请日：2023-08-16

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 齐兵 ,  汪籽粒 ,  赵砚池 ,  孙伟淇 ,  管梦涵 ,  葛靖宇 ,  金莫寒 ,  郭广彦 ,  冯舒扬

IPC: G01C25/00 ,  G01C21/16 ,  G06F30/27 ,  G06F30/17 ,  G06N3/0499 ,  G06N3/048 ,  G06N3/08 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 基于热应力形变分析的MEMS惯性器件温漂误差估计方法，它属于新型微惯性器件领域。本发明解决了现有温漂误差估计方法的准确性和实时性差的问题。本发明采取的主要技术方案为：步骤一、根据MEMS惯性器件传感电路的梳齿结构，确定出引起MEMS惯性器件温漂误差的全部温度参量；步骤二、建立电容式MEMS惯性器件温漂误差模型，根据步骤一中确定出的温度参量构造训练数据集；利用训练数据集对MEMS惯性器件温漂误差模型进行训练；步骤三、根据MEMS惯性器件实际工作时的环境温度计算ΔT、ΔT2和ΔT‑1/2，将计算出的ΔT、ΔT2和ΔT‑1/2输入训练好的MEMS惯性器件温漂误差模型，利用MEMS惯性器件温漂误差模型输出实际的温漂误差。本发明方法可以应用于MEMS惯性器件温漂误差估计。