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公开(公告)号：CN104457559A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410663949.X
申请日：2014-11-20
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于反射光栅的同步相移点衍射干涉检测方法属于光学干涉检测领域。该方法将测量光束经第一傅里叶透镜以及非偏振分光棱镜后分成参考光和物光；参考光经小孔反射镜滤波反射后射向非偏振分光棱镜，物光经反射光栅反射并衍射生成+1级、0级和-1级三束物光，射向非偏振分光棱镜；汇合于非偏振分光棱镜参考光和物光共同经过第二傅里叶透镜变换后射向图像传感器，通过一次曝光采集获得三幅强度分布分别为I+1、I0和I-1的干涉图；代入公式计算获得待测物体的相位分布；本发明兼顾了测量分辨力、测量效率以及测量窗口的视场，且检测系统结构简单，不需特殊光学元件，检测过程中无需任何机械移动。
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公开(公告)号：CN104457559B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410663949.X
申请日：2014-11-20
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于反射光栅的同步相移点衍射干涉检测方法属于光学干涉检测领域。该方法将测量光束经第一傅里叶透镜以及非偏振分光棱镜后分成参考光和物光；参考光经小孔反射镜滤波反射后射向非偏振分光棱镜，物光经反射光栅反射并衍射生成+1级、0级和‑1级三束物光，射向非偏振分光棱镜；汇合于非偏振分光棱镜参考光和物光共同经过第二傅里叶透镜变换后射向图像传感器，通过一次曝光采集获得三幅强度分布分别为I+1、I0和I‑1的干涉图；代入公式计算获得待测物体的相位分布；本发明兼顾了测量分辨力、测量效率以及测量窗口的视场，且检测系统结构简单，不需特殊光学元件，检测过程中无需任何机械移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106441085B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201610811018.9
申请日：2016-09-08
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于数字全息检测领域，具体涉及一种双载频共路数字全息显微装置及显微方法。双载频共路数字全息显微装置，包括光源、准直扩束系统、待测物体、显微物镜、校正物镜、矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅、第二透镜、图像传感器和计算机。本发明在光栅离焦共路结构基础上，引入三孔阵列滤波技术，通过一次曝光获得生成两幅载频大小相等、方向相反的干涉图，并利用两幅干涉图相减消除直流项，不仅可充分利用相机的空间带宽积，实现高分辨力实时稳定测量，而且光利用率高，方法简单易行，不需任何相移操控或偏振元件。
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公开(公告)号：CN104165582B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410431707.8
申请日：2014-08-28
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本发明装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。
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公开(公告)号：CN106441085A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610811018.9
申请日：2016-09-08
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于数字全息检测领域，具体涉及一种双载频共路数字全息显微装置及显微方法。双载频共路数字全息显微装置，包括光源、准直扩束系统、待测物体、显微物镜、校正物镜、矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅、第二透镜、图像传感器和计算机。本发明在光栅离焦共路结构基础上，引入三孔阵列滤波技术，通过一次曝光获得生成两幅载频大小相等、方向相反的干涉图，并利用两幅干涉图相减消除直流项，不仅可充分利用相机的空间带宽积，实现高分辨力实时稳定测量，而且光利用率高，方法简单易行，不需任何相移操控或偏振元件。
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公开(公告)号：CN104165582A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410431707.8
申请日：2014-08-28
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本发明装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。
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公开(公告)号：CN204177342U
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201420491525.5
申请日：2014-08-28
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本实用新型属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本实用新型装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。
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