公开(公告)号：CN102621826B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201210120751.8

申请日：2012-04-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  郝中洋 ,  李聪 ,  王公峰 ,  闫华星 ,  彭贵勇 ,  陈兴林

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。

公开(公告)号：CN102621826A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210120751.8

申请日：2012-04-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  郝中洋 ,  李聪 ,  王公峰 ,  闫华星 ,  彭贵勇 ,  陈兴林

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。