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公开(公告)号：CN118876633A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410927531.9
申请日：2024-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微纳阵列结构加工的超声压印装置及方法，属于微纳阵列结构的精细加工技术领域，尤其涉及跨尺度功能表面的高效微纳阵列结构加工；解决了采用现有压印设备在异形曲面上实现跨尺度多维阵列微结构的压印加工过程中，存在的成本高、工艺复杂以及表面质量较差的问题；所述装置包括：三自由度超声操控器、接触式压印模具、传感检测部件、六自由度平台、结构支撑部件以及微位移调整台；所述三自由度超声操控器，用于操控接触式压印模具进行超声压印加工，对超声压印加工过程中的压印深度和压印力进行协同控制。所述的用于微纳阵列结构加工的超声压印装置及方法，适用于微纳阵列结构加工的超声压印。
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