公开(公告)号：CN111229727A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010066540.5

申请日：2020-01-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 白清顺 ,  窦昱昊 ,  张祎晨 ,  谢成浩 ,  牛龙飞 ,  苗心向

IPC: B08B5/02 ,  B08B13/00 ,  B03C3/04

Abstract: 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。

公开(公告)号：CN111229727B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202010066540.5

申请日：2020-01-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 白清顺 ,  窦昱昊 ,  张祎晨 ,  谢成浩 ,  牛龙飞 ,  苗心向

IPC: B08B5/02 ,  B08B13/00 ,  B03C3/04

Abstract: 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。