公开(公告)号：CN118130482A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410376782.2

申请日：2024-03-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵强 ,  张紫晓 ,  赵林杰 ,  程健 ,  苏富强 ,  尹朝阳 ,  唐迎辉 ,  刘赫男

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G01N21/94

Abstract: 本发明提供一种基于六自由度运动模块的大口径光学元件表面状态快速检测系统及方法，属于光学元件表面状态检测技术领域。为提供一种可快速进行暗场检测和明场检测的光学元件表面状态检测系统。通过AGV运输小车实现光学元件的移动，通过三自由度光源调整模块，调整线阵光源工作距离和入射角度，多自由度光源调整模块可调整出光角度和光源工作距离，使得元件表面辐照均匀，系统包含明场和暗场两套成像单元，具备自动调焦和对焦功能，其中暗场可实现元件全口径成像和区域扫描成像两种模式，可以对光学元件表面状态进行快速检测，对表面存在的污染物和微缺陷点快速定位，明场检测可以对表面缺陷点进行识别、分类，并确定缺陷点实际尺寸。

公开(公告)号：CN118130483A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410376963.5

申请日：2024-03-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵强 ,  张紫晓 ,  赵林杰 ,  程健 ,  苏富强 ,  尹朝阳 ,  唐迎辉 ,  刘赫男

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/94 ,  G01N21/01

Abstract: 一种用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测的多光源夹具系统，本发明涉及光学元件检测技术领域。本发明为了解决现有技术中暗场散射成像方法检测的光学元件有不同形状和尺寸，需要能够实现快速安装和下架，硬脆光学元件在检测过程中容易人为引入缺陷的问题。本发明包括夹具框体、底部高亮侧照光源、两个底部夹紧模块、左侧光源调整模块、顶部夹紧模块和右侧光源调整模块；顶部夹紧模块安装在框体的顶板上，左侧光源调整模块和右侧光源调整模块分别安装在框体底板的左右两侧，左侧光源调整模块和右侧光源调整模块之间安装有两个底部夹紧模块，底部高亮侧照光源安装在两个底部夹紧模块之间。本发明用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测。