公开(公告)号：CN101870002B

公开(公告)日：2011-10-26

申请号：CN201010221284.9

申请日：2010-07-08

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  陈明君 ,  李明全 ,  张龙江 ,  许乔 ,  张飞虎 ,  王键 ,  孙雅洲

IPC: B23C3/00 ,  B23Q15/013 ,  B23Q15/26

Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。

公开(公告)号：CN101870002A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN201010221284.9

申请日：2010-07-08

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁迎春 ,  陈明君 ,  李明全 ,  张龙江 ,  许乔 ,  张飞虎 ,  王键 ,  孙雅洲

IPC: B23C3/00 ,  B23Q15/013 ,  B23Q15/26

Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。